 |
A pesar de la altísima pureza del agua ultrapura utilizada en la fabricación de semiconductores, sigue conteniendo trazas de metales comunes y otros iones que pueden afectar negativamente al rendimiento de las obleas. Como resultado, es fundamental una monitorización precisa y en tiempo real de la resistividad del agua.
A medida que los anchos de línea de los semiconductores sigan estrechándose y la industria supere el nodo de proceso de 3 nm, la necesidad de mejorar la calidad del UPW no hará sino crecer. La precisión de los sensores de resistividad debe seguir evolucionando para detectar con fiabilidad cambios de resistividad muy pequeños sobre un fondo distinto de cero.
Gracias a la colaboración con socios del sector, METTLER TOLEDO ha desarrollado un sensor de resistividad con una compensación de temperatura, una estabilidad de la señal y un aislamiento ambiental significativamente mejores que los disponibles hasta ahora. Este aumento de la precisión de las mediciones le permitirá mejorar la calidad del UPW en los PoD y PoU, lo que se traducirá en un mayor rendimiento de las obleas.
Los sensores de resistividad típicos disponibles hoy en día ofrecen una precisión de medición de +/- 1%. Actualmente, los niveles de acción establecidos por SEMI F63 se sitúan dentro de este rango de error aceptable. Este nivel de incertidumbre puede ser aceptable para algunos procesos, pero no ayuda a las semifábricas a satisfacer sus necesidades para la producción de tecnologías de próxima generación. Para abordar estos requisitos en evolución, METTLER TOLEDO Thornton ha desarrollado el sensor de resistividad UPW UniCond™, el único sensor de resistividad disponible capaz de alcanzar una precisión de ≥0,5% en una medición de resistividad compensada por temperatura.
Eventos
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Sensor de conductividad / sensor de resistividad")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmisores")