Эффективное управление водным циклом в полупроводниковом производстве связано не только с обеспечением высочайшего качества UPW, но и с соблюдением экологической ответственности. Используя передовые сенсорные технологии и придерживаясь строгих правил мониторинга и технического обслуживания, полупроводниковые предприятия могут оптимизировать использование воды, обеспечить соответствие нормативным стандартам и внести свой вклад в экологическую устойчивость.
МЕТТЛЕР ТОЛЕДО Торнтон предлагает широкий ассортимент датчиков и анализаторов, включая датчики pH, УЭП, ООУ (TOC), растворенного кислорода, обнаружения микроорганизмов и диоксида кремния. Технология ISM (Intelligent Sensor Management) обеспечивает упреждающую диагностику, адаптивную калибровку и оповещения о техническом обслуживании, повышая эффективность работы и сокращая время простоя.
Своевременно выполняемые автономные анализы воды помогают проверить точность системы онлайн-мониторинга с помощью настольных приборов, таких как плотномеры, рефректометры, pH-метры, УЭП, датчики ИСЭ и растворенного кислорода (РК),титраторы и УФ/ВИД спектрофотометры.