ウェハーの品質と収率の向上 | 超純水の比抵抗とTOC測定

半導体産業は、ウェハーあたりのチップ数の増加や1桁のナノメートル範囲での線幅の微細化に対する需要の高まりに伴い、急速に進歩しています。これらの課題を解決するためには、超純水（UPW）をモニタリング、管理して、ウェハーの歩留まりに悪影響を及ぼす可能性がある、イオン性不純物を検出する必要があります。水の純度を保証するために、オンラインでリアルタイムにモニタリングする必要がある2つの重要なパラメータは、全有機炭素（TOC）と比抵抗です。超純水システムにおいてサブppbレベルでこれらのパラメータを正確に測定することで、半導体メーカーは製品品質を向上させ、歩留まりを最大化することができます。

6000TOCiとM800は、超純水システムに必要なオンライン連続測定とプロセス制御を満たす最先端のツールをマイクロエレクトロニクス産業に提供します。高速応答、高度な統合診断、サブppb検出により、メトラー・トレドのTOCシステムは測定ポイントあたりの最低コストを実現します。

UniCondセンサ、6000TOCi、M800変換器は、リスクを低減し、歩留まりを向上するマイクロエレクトロニクス産業向けの最高の投資です。

このホワイトペーパーでは、次のトピックを取り上げています。

比抵抗とTOCのオンライン分析の重要性
半導体製造での超純水
比抵抗とTOCのリアルタイム連続モニタリング

メトラー・トレドのマイクロエレクトロニクス産業向けの理想的な製品ソリューションは、6000TOCiセンサ、UniCondセンサ、M800変換器です。

6000TOCiは、リアルタイムでデータや予測診断を提供するオンラインTOCセンサです。このセンサは毎秒で測定し、水システムのTOCを連続して分析できます。6000TOCiは、TOCレベルの変化の迅速な検出が重要なすべての純水用途に最適であり、履歴や重要な統計に関する包括的な記録を管理します。

メトラー・トレドのUniCondセンサは、再現性の高い測定精度を提供します。UniCondセンサには、インテリジェントセンサマネジメント（ISM）技術が採用されています。ISMセンサは、センサのアナログ信号出力をパラメータの実際の測定値に変換する内蔵のマイクロプロセッサなど、多くの点でアナログセンサよりも性能が優れています。

メトラー・トレドのM800変換器は、測定システムを完全な状態にします。この変換器は、設置の柔軟性と簡素化されたプロセス制御測定を提供するマルチパラメータ変換器です。1、2、または4本のインラインセンサを同時にモニタリングできます。

詳細情報

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