低ppbレベルのシリカはマイクロエレクトロニクスの製造に不可欠ですが、ほとんどのシリカ分析装置に共通する頻繁なメンテナンスは苛立たしい場合があります。米国のメーカーにとって、メトラー・トレドの2850Siに切り替えることで、メンテナンスが削減され、UPW品質に対する信頼性が高まります。
超純水中にシリカが存在する場合、シリコンウェーハ上で乾燥する水滴は、膜の密着性、接触抵抗、したがって欠陥の減少とウェーハの歩留まりの低下につながる可能性があります。
このケーススタディでは、この大手マイクロエレクトロニクスメーカーが、超純水システムの低ppbシリカレベルのモニタリングにメトラー・トレドのシリカ分析装置を選択した理由について説明します。
シリカはすべての給水に含まれており、除去するには膜分離および/またはイオン交換が必要です。樹脂カラムやその他の場所での規格外のシリカレベルは、汚染源を見つけて修復する間、製品の遅延や収益の損失につながります。これらの問題を最小限に抑えるためには、超純水中のシリカ量を適切な場所で継続的にモニタリングし、ppb以下のレベルで管理する必要があります。
直接の連続シリカ測定は、枯渇に近づいたときに陰イオン樹脂から放出されるシリカによる汚染から保護するための最も効果的な手段です。シリカの導電率はごくわずかであるため、UPW精製システムの適切な制御に必要なレベルの比抵抗測定では検出できません。
メトラー・トレドの2850Siシリカ分析装置は、オペレーターの監督を最小限に抑えながら信頼性の高い低ppbシリカ測定を実現するコンパクトな機器です。
