比抵抗測定精度の新たな基準を打ち立てるセンサー

新たな基準を打ち立てる性能

ある大手半導体製造業者は、現在入手可能な機器の性能を上回る比抵抗センサを必要としていました。メトラー・トレド Thorntonはこの半導体製造業者と共同で比抵抗測定の新たな標準となるセンサを開発しました。

この製造業者は、生産歩留まりを向上させるために、現在の業界標準をはるかに超えるレベルの比抵抗測定の安定性と精度を必要としていました。このソリューションを見つけるためにメトラー・トレドとのパートナーシップが設立されました。

その結果として誕生したのが UPW UniCond(TM)。以前よりも大幅に優れた温度補正、信号安定性、および環境分離を備えた比抵抗センサです。

大成功を収めたテスト結果に基づき、この製造業社は UPW UniCond(TM)を新しい比抵抗測定ソリューションとして採用し、アップグレードや新しい半導体製造施設の設計時に、すべてのグローバル工場で新しいセンサを使用するよう指定しました。

このケーススタディでは、半導体製造業者が実施した試験とその結果について見ていきます。

半導体の線幅が狭まり続ける中、高い歩留まりを維持するためにUPWの品質を向上させる必要性は高まるばかりです。

ほとんどの比抵抗計の測定精度は±1%です。現在、SEMI F63で設定されている測定精度は、誤差の範囲内です。このレベルの不確かさは、一部のプロセスでは許容されるかもしれませんが、次世代技術の生産に対する半導体工場のニーズを満たす助けにはなりません。UPW UniCond は、温度補償比抵抗測定で ≥0.5% 以上の精度を達成できる唯一の比抵抗センサです。

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