ケーススタディ：半導体製造にデジタルセンサを用いた比抵抗測定

導電率の逆である比抵抗測定は、半導体・精密電子部品業界で超純水の品質を維持するためにモニタリングするための最も重要なパラメータです。安定性の高い比抵抗測定は半導体製造において高品質の製品を生産するために必要不可欠です。

それらのプロセスと最終製品を向上させるため、北アメリカの半導体製造工場は高い期待に応える比抵抗測定システムを探していました。メトラー・トレドとのパートナーシップにより、この工場では、UPW UniCond^® システムを用いて自社の純水システムの比抵抗測定を数週間試験運用を実施しました。ウォータループでのテスト結果を分析した後、製造工場は以前の製品ソリューションと比較して比抵抗測定性能の劇的な向上を観測しました。彼らは戦略を更新することを選択し、新工場および施設更新にUPW UniCondセンサを指定しました。比抵抗測定は、市場にあるその他の抵抗性センサの性能を上回る安定性と精確性により、すべての期待を超える成果となりました。

このケーススタディは以下を含みます:

顧客の状況背景
比抵抗測定用のテスト設定の評価
結果の評価

メトラー・トレドの超純水向けUniCondセンサは、再現性の高い測定精度を提供します。改良されたデジタル信号処理がノイズを減少し、測定の安定性を一桁改善します。超純水向けUniCondセンサでは、インテリジェントセンサマネジメント (ISM) が利用可能です。 ISM導電率センサは、センサからのアナログ信号をパラメータの実際の導電率測定値に変換する内蔵マイクロプロセッサにより、アナログ電極よりも性能が向上しています。

UPW UniCondセンサは全体セル定数として高い測定精確性をもたらし、測定サーキットはすべてユニットとして校正されています。測定サーキットは自己充足で密閉されているため、異なるケーブル長さ、接続、または変換器の変更による負の影響はありません。センサは取り巻く装置や環境により干渉または変質されない非常に強固なデジタル信号を出力します。