Травление, будь то химическое (с использованием кислот и оснований) или плазменное, удаляет открытые участки диоксида кремния, перенося рисунок фоторезиста на пластину с высокой точностью.
При химическом травлении часто используются кислоты, такие как фтористоводородная кислота, или основания, такие как гидроксид калия, которые определяют силу и реакционную способность растворов. Уровень pH напрямую влияет на скорость травления: более кислые или щелочные растворы обычно травят быстрее, в то время как менее экстремальные уровни pH замедляют процесс. Концентрацию HF и HNO3 в растворах для травления, а также концентрацию H2SiF6, образующуюся при травлении, можно безопасно определить с помощью автоподатчика InMotion™ , подключенного к титратору Excellence для обеспечения безопасности пользователя.
УФ/ВИД спектрофотометрия позволяет определить, что концентрация травителя остается в желаемом диапазоне во время процесса для точного травления. Кроме того, УФ/ВИД спектрофотометрия помогает в определении конечных точек, наблюдая за изменениями абсорбции раствора, указывая на завершение процесса травления.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Встраиваемый датчик pH / датчик ОВП (Redox)")
