METTLER TOLEDO 서비스를 통한 반도체 공정 향상
우리는 정밀도와 신뢰성이 귀하의 작업에 필수적이라는 것을 이해하고 있으며 당사의 솔루션은 모든 단계를 지원하도록 설계되었습니다. 우리 팀은 장비가 원활하게 작동하도록 최선을 다하고 있으므로 가장 중요한 일에 집중하여 획기적인 결과를 얻을 수 있습니다. 반도체 분야에서 여러분의 노력을 강화하고 혁신을 주도하기 위해 함께 노력합시다.
효과적인 물 순환 관리는 다양한 공정에서 초순수(UPW)를 광범위하게 사용하기 때문에 반도체 제조에서 매우 중요합니다. 반도체 산업은 전 세계적으로 UPW의 가장 큰 소비자이므로 이 리소스를 효율적으로 관리하고 재활용하기 위해 엄격한 프로토콜이 필요합니다.
메틀러 토레도 Thornton 기기는 정수의 모든 단계를 인라인으로 모니터링하는 반면, 메틀러 토레도 실험실 기기는 실험실 및 앳 라인 어플리케이션에서 정시에 수질 검사를 수행하는 데 이상적입니다.
반도체 제조의 물 순환은 원수(1)를 시설로 가져와 전처리(2), 보충 및 연마(3) 단계를 거치는 것으로 시작됩니다. 연마가 완료되면 UPW는 제조 공장(4 - Fab)으로 보내져 세척, 에칭 및 화학적 기계적 평탄화(CMP)와 같은 여러 도구 및 공정에 사용됩니다. 사용 후 물은 종종 UPW 루프 내에서 재활용하기 위해 재생되거나(5) 보일러 및 스크러버(11)와 같은 다른 응용 분야에서 사용되거나, 오염 수준에 따라 폐기물(6)로 처리됩니다.
비저항률과 총유기탄소(TOC)는 UPW 품질 모니터링에 필수적입니다. 예를 들어, 저항률은 25°C에서 센티미터당 18.18메가옴 이상이어야 하며 TOC 수준은 1ppb(1ppb) 미만으로 유지해야 합니다.
용존 산소(DO)는 오염을 방지하는 데 매우 중요합니다. Thornton의 광학 DO 센서는 수명이 길고 유지보수가 거의 필요하지 않아 용존 산소 농도를 낮게 유지하는 데 이상적입니다.
pH 및 전도도는 폐기물 중화 공정에서 중요하며, 특히 불산 또는 암모니아와 같은 유해한 화학 물질을 처리할 때 중요합니다. 올바른 pH 센서 를 사용하면 안전한 폐기와 환경 규정 준수가 보장됩니다.
실리카 및 나트륨 모니터링은 정수에 중추적인 역할을 하는 혼합층 또는 전기탈이온화 스택의 상태를 유지하는 데 도움이 됩니다.
유기 화합물: 반도체 팹에 사용되는 초순수의 유기 오염 물질을 모니터링합니다. UV/Vis 분광광도계는 흡광도 스펙트럼을 측정하여 미량 유기 화합물을 검출할 수 있으며, 이를 통해 물이 고순도 표준을 충족하는지 확인할 수 있습니다.
중금속 분석은 특정 오염 물질의 흡광도를 측정하여 폐수 처리 공정이 효과적이고 환경 규정을 준수하는지 확인합니다.
반도체 산업은 물 발자국을 줄이는 데 점점 더 집중하고 있습니다. 다양한 지역의 법률은 종종 최대 90%까지 높은 수준의 물 재사용 및 재생을 의무화하고 있습니다. 불산을 중화하고 안전한 배출을 위해 암모니아를 변환하는 것과 같은 폐기물 흐름의 효과적인 분리 및 처리는 이 과정에서 중요한 단계입니다.
반도체 제조에서 효과적인 물 순환 관리는 UPW의 최고 품질을 보장하는 것뿐만 아니라 환경적 책임을 유지하는 것이기도 합니다. 첨단 센서 기술을 채택하고 엄격한 모니터링 및 유지 관리 프로토콜을 준수함으로써 반도체 시설은 물 사용을 최적화하고 규제 표준을 준수하며 환경 지속 가능성에 기여할 수 있습니다.
메틀러 토레도 Thornton은 pH, 전도도, 비저항, TOC, 용존 산소, 미생물 검출 및 실리카 센서를 포함한 포괄적인 센서 및 분석기 포트폴리오를 제공합니다. 이러한 기기는 최고 품질의 UPW를 유지하는 데 필수적입니다. ISM(지능형 센서 관리) 기술은 예측 진단, 적응형 교정 및 유지 보수 경고를 제공하여 운영 효율성을 높이고 가동 중지 시간을 줄입니다.
시간을 엄수하여 수행되는 오프라인 수질 분석은 밀도, 굴절률, pH, 전도도, 이온 및 용존 산소(DO),적정 및 UV/Vis 측정과 같은 탁상용 기기용 애플리케이션을 통해 온라인 모니터링 시스템의 정확성을 검증하는 데 도움이 됩니다.
우리는 정밀도와 신뢰성이 귀하의 작업에 필수적이라는 것을 이해하고 있으며 당사의 솔루션은 모든 단계를 지원하도록 설계되었습니다. 우리 팀은 장비가 원활하게 작동하도록 최선을 다하고 있으므로 가장 중요한 일에 집중하여 획기적인 결과를 얻을 수 있습니다. 반도체 분야에서 여러분의 노력을 강화하고 혁신을 주도하기 위해 함께 노력합시다.