アプリケーションノート：半導体製造向け超純水におけるTOC分析（日本語版）| メトラー・トレド

このアプリケーションノートでは、半導体用超純水における信頼性の高いリアルタイムのTOC分析の重要性について説明します。超純水は、ありとあらゆる化合物を溶かす極めて強力な溶剤で、マイクロエレクトロニクス業界におけるウェハーの洗浄や製造に使用されています。エレクトロニクス業界では、ここ40年間でシリコンチップ上にエッチングする回路の数が指数関数的に増加してきました。この回路数の増加によってライン幅は大幅に細くなり、その結果、超純水中のTOCの正確な連続測定に関する要件が劇的に増えています。

半導体製造プロセスには、純水/超純水システム内のイオン汚染や有機物汚染に関する非常に厳しい基準があります。半導体用水に含まれるTOCを測定することにより、メーカーは製品品質を向上し、最大の生産量を達成することができます。水処理技術の進歩と汚染モニタリング用計装の技術向上は、超純水品質の向上とその測定において重要な役割を果たしています。さらに、これらの進歩によって、超純水システムのすべての汚染物質についてより低いレベルでの制御が可能になっています。

半導体用超純水の全有機体炭素/全有機炭素（TOC）分析は、超純水中の有機汚染物質とマイクロエレクトロニクス業界で使用される超純水システムの「状態」をモニタリングする上で極めて有効な方法です。有機物は、配水システム、貯蔵タンク、処理技術、または処理モジュール内に存在する可能性があるあらゆるバクテリアの食物源となります。超純水システム内の有機物のレベルを正確にすばやく、かつ高い効率で測定することにより、製品不良によって発生する多額の損失を回避できます。

6000TOCiセンサとM800変換器は、このような要件を満たす性能を提供するとともに、低メンテナンスの連続オンライン測定、定評あるマルチパラメータ技術による産業用パッケージといったさらなるメリットをもたらします。 6000TOCiセンサをM800変換器と直接接続すると、別の測定パラメータも測定することができます。 6000TOCiセンサとM800変換器はメトラー・トレドのインテリジェントセンサマネジメント（ISM）システムを搭載しています。 ISMの高度な診断機能は、常にセンサの性能を最適な状態に維持するために役立ちます。

このアプリケーションノートまたは次のウェブサイトで、6000TOCiセンサとM800変換器について、またこれらを超純水のTOC分析に使用する方法について詳しくご覧ください。

6000TOCiセンサ - リアルタイムの測定と安定した正確な分析で半導体用水のTOCをモニタリングできる高性能全有機体炭素/全有機炭素センサ。検証可能なシステム性能を備えた、少ない水量で分析可能なセンサ。
M800変換器 - 導電率、pH、ORP、溶存酸素に加えて[SST1]、圧力、タンクレベル、または2つのフローセンサなど、TOCのほかに3つの分析センサに対応するマルチパラメータ変換器。
インテリジェントセンサマネジメント（ISM） – 予測可能なメンテナンス、シンプルなセンサ処理、効率的な製造を可能にするデジタルセンサ技術。