メトラー・トレドのサービスで半導体プロセスを強化
私たちは、お客様の仕事に精度と信頼性が不可欠であることを理解しており、当社のソリューションは、あらゆる段階でお客様をサポートするように設計されています。当社のチームは、お客様の機器をスムーズに稼働させることに専念し、お客様が最も重要なこと、つまり画期的な結果を達成することに集中できるようにします。一緒に取り組みを強化し、半導体分野のイノベーションを推進しましょう。
半導体製造では、さまざまなプロセスで超純水(UPW)が広く使用されているため、効果的な水循環管理が重要です。半導体業界は世界最大の超純水消費国であり、この資源を効率的に管理およびリサイクルするための厳格なプロトコルが必要です。
メトラー・トレドのソーントン計器は、浄水のすべての段階をインラインで監視し、メトラー・トレドのラボ用機器は、ラボやアットラインアプリケーションでの時間厳守の水質チェックに最適です。
半導体製造におけるウォーターサイクルは、原水(1)を施設に運び、前処理(2)、化粧、研磨(3)を経るところから始まります。研磨されたUPWは、製造工場(4 - Fab)に分配され、洗浄、エッチング、化学機械平坦化(CMP)など、複数のツールやプロセスで使用されます。使用後、水は多くの場合、UPWループ内でリサイクルするために再利用(5)、ボイラーやスクラバーなどの他のアプリケーション(11)で使用されるか、汚染レベルに基づいて廃棄物として処理されます(6)。
抵抗率と全有機炭素(TOC)は、超水圧水の品質を監視するために不可欠です。たとえば、抵抗率は25°Cで18.18メガオームパーセントセンチメートル以上であるべきであり、TOCレベルは10億分の1(ppb)未満に保つ必要があります。
溶存酸素(DO)は、汚染を防ぐために重要です。ソーントンの光学式DOセンサは、長寿命でメンテナンスも最小限で済むため、溶存酸素を低レベルに維持するのに理想的です。
pHと導電率は、特にフッ化水素酸やアンモニアなどの有害な化学物質を扱う場合、廃棄物の中和プロセスにおいて重要です。適切な pHセンサ を使用することで、安全な廃棄と環境規制への準拠が保証されます。
シリカとナトリウムのモニタリングは、水質浄化に極めて重要な混合床または電気脱イオンスタックの健康を維持するのに役立ちます。
有機化合物 半導体工場で使用される超純水中の有機汚染物質をモニタリングします。UV/Vis分光光度法は、吸光度スペクトルを測定することで微量有機化合物を検出し、水が高純度の基準を満たしていることを確認できます。
重金属分析は、特定の汚染物質の吸光度を測定し、廃水処理プロセスが効果的で環境規制に準拠していることを確認します。
半導体業界では、ウォーターフットプリントの削減にますます注力しています。さまざまな地域の法律では、水の再利用と再利用が義務付けられており、多くの場合、最大90%が行われています。このプロセスでは、フッ化水素酸の中和やアンモニアの安全な排出のための変換など、廃棄物の流れを効果的に分別および処理することが重要なステップです。
半導体製造における効果的なウォーターサイクルマネジメントは、最高品質の超純水を確保するだけでなく、環境責任を維持することも重要です。高度なセンサー技術を採用し、厳格な監視および保守プロトコルを遵守することで、半導体施設は水の使用を最適化し、規制基準への準拠を確保し、環境の持続可能性に貢献することができます。
メトラー・トレド・ソーントンは、pH、導電率、抵抗率、TOC、溶存酸素、微生物検出、シリカセンサなど、センサと分析装置の包括的なポートフォリオを提供しています。 ISM(インテリジェント・センサー・マネジメント) 技術は、予測診断、適応型校正、メンテナンスアラートを提供し、運用効率を高め、ダウンタイムを削減します。
時間通りに実行されるオフライン水分析は、密度、屈折率、pH、導電率、イオンと溶存酸素(DO)、滴定、UV/Vis測定などの ベンチトップ機器へのアプリケーションを使用して、オンラインモニタリングシステムの精度を検証するのに役立ちます。
私たちは、お客様の仕事に精度と信頼性が不可欠であることを理解しており、当社のソリューションは、あらゆる段階でお客様をサポートするように設計されています。当社のチームは、お客様の機器をスムーズに稼働させることに専念し、お客様が最も重要なこと、つまり画期的な結果を達成することに集中できるようにします。一緒に取り組みを強化し、半導体分野のイノベーションを推進しましょう。