由于超纯水 （UPW） 在各种工艺中广泛使用，因此有效的水循环管理在半导体制造中至关重要。半导体行业是全球最大的 UPW 消费者，需要严格的协议来有效地管理和回收这种资源。
梅特勒托利多 Thornton 仪器可在线监测水净化的所有阶段，而梅特勒托利多实验室仪器则非常适合在实验室和在线应用中进行准时水质检查。
半导体制造中的水循环从原水 （1） 被带到工厂开始，在那里进行预处理 （2）、补水和抛光 （3） 阶段。抛光后，UPW 被分配到制造厂 （4 - Fab），在那里它用于多种工具和工艺，例如清洁、蚀刻和化学机械平坦化 （CMP）。使用后，水通常会被回收 （5） 以便在 UPW 回路内循环利用，用于锅炉和洗涤器 （11） 等其他应用，或根据其污染水平作为废物处理 （6）。
电阻率和总有机碳 （TOC） 对于监测 UPW 质量至关重要。例如，在 25° C 时，电阻率不应低于每厘米 18.18 兆欧姆，并且 TOC 水平应保持在十亿分之 1 （ppb） 以下。
溶解氧 （DO） 对于防止污染至关重要。Thornton 的光学溶氧传感器使用寿命长，维护工作量小，是保持低溶解氧水平的理想选择。
pH 值和电导率是废物中和过程的关键，尤其是在处理氢氟酸或氨等有害化学物质时。使用正确的 pH 传感器 可确保安全处置并符合环境法规。
二氧化硅和钠监测有助于保持混床或电去离子烟囱的健康状况，这对于水净化至关重要。
有机化合物 监测半导体制造厂中使用的超纯水中的有机污染物。紫外/可见分光光度法可以通过测量吸光度光谱来检测痕量有机化合物，确保水符合高纯度标准。
重金属分析测量特定污染物的吸光度，确保废水处理过程有效并符合环境法规。
半导体行业越来越注重减少其水足迹。各个地区的立法都要求高水平的水再利用和回收，通常高达 90%。有效分离和处理废物流，例如中和氢氟酸和转化氨以进行安全排放，是该过程中的关键步骤。
在半导体制造中，有效的水循环管理不仅关乎确保超纯水的最高质量，还关乎持续承担环境责任。通过采用先进的传感器技术并遵守严格的监测和维护协议，半导体设施可以优化用水，确保符合监管标准，并为环境可持续性做出贡献。
梅特勒托利多 Thornton 提供全面的传感器和分析仪产品组合，包括 pH、电导率、电阻率、TOC、溶解氧、微生物检测和硅胶传感器。这些仪器是保持最高质量 UPW 不可或缺的一部分。 ISM（智能传感器管理） 技术提供预测诊断、自适应校准和维护警报，从而提高运营效率并减少停机时间。
准时进行的离线水分析有助于验证在线监测系统的准确性，适用于密度、示差折光率、pH 值、电导率、离子和溶解氧 （DO）、滴定和 UV/Vis 测量等台式仪器 。
我们深知，精确性和可靠性在您的工作中至关重要，我们的解决方案旨在为您的每一步提供支持。我们的团队致力于让您的设备平稳运行，以便您可以专注于最重要的事情 - 取得突破性的成果。让我们共同努力，加强您的工作并推动半导体领域的创新。
