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微电子领域中最关键的 UPW 测量参数是总有机碳、电阻率、二氧化硅、溶解氧和溶解臭氧。为保障水质,必须使用梅特勒托利多提供的高性能在线传感器和分析仪。
在 "微电子行业 UPW 的 5 项关键测量 "指南中,您可以找到有关微电子行业水纯度测量重要性的不同文章。
自 1964 年以来,梅特勒托利多-桑顿一直站在半导体行业水纯度的最前沿,是全球公认的 UPW 测量领域的领导者。监测 UPW 可保护最终产品免受污染物的影响,确保更高的产量、更快的周期时间和更好的运营经济性。梅特勒-托利多的电阻率/电导率、总有机碳、微生物污染、pH 值、ORP、溶解氧、二氧化硅、钠和 O3 测量仪器被全球微电子制造工厂指定用于监测和控制关键的 UPW 系统。在""微电子中 UPW 的 5 个关键测量参数 "中,您将看到有关各种测量参数的文章:
- 总有机碳,连续和在线溶解氧
- 电阻率,满足严格要求的分析仪
- 溶解氧,快速响应,痕量监测
- 溶解臭氧,确认系统消毒
梅特勒-托利多的传感器产品组合主要包括以下内容: