Gestione del ciclo dell'acqua nella produzione di semiconduttori

Soluzioni avanzate per garantire la qualità dell'acqua ultrapura

Una gestione efficace del ciclo dell'acqua è fondamentale nella produzione di semiconduttori a causa dell'ampio uso di acqua ultrapura (UPW) in vari processi. L'industria dei semiconduttori è il più grande consumatore di UPW a livello globale, richiedendo protocolli rigorosi per gestire e riciclare questa risorsa in modo efficiente.

La strumentazione Thornton di METTLER TOLEDO monitora tutte le fasi della purificazione dell'acqua in linea, mentre gli strumenti di laboratorio METTLER TOLEDO sono ideali per controlli puntuali della qualità dell'acqua in laboratorio e nelle applicazioni in linea.

Il ciclo dell'acqua nella produzione di semiconduttori inizia con l'acqua grezza (1) che viene portata allo stabilimento, dove viene sottoposta alle fasi di pretrattamento (2), trucco e lucidatura (3). Una volta lucidato, l'UPW viene distribuita all'impianto di fabbricazione (4 - Fab), dove viene utilizzata in molteplici strumenti e processi, come la pulizia, l'incisione e la planarizzazione chimico-meccanica (CMP). Dopo l'uso, l'acqua viene spesso recuperata (5) per il riciclaggio all'interno del ciclo UPW, utilizzata in altre applicazioni come caldaie e scrubber (11) o trattata come rifiuto (6) in base ai suoi livelli di contaminazione.

Parametri chiave in linea nella gestione del ciclo dell'acqua

La resistività e il carbonio organico totale (TOC) sono essenziali per il monitoraggio della qualità dell'UPW. Ad esempio, la resistività non deve essere inferiore a 18,18 mega ohm per centimetro a 25 °C e i livelli di TOC devono essere mantenuti al di sotto di 1 parte per miliardo (ppb).
L'ossigeno disciolto (DO) è fondamentale per prevenire la contaminazione. I sensori ottici di OD di Thornton offrono una lunga durata utile e richiedono una manutenzione minima, il che li rende ideali per mantenere bassi i livelli di ossigeno disciolto.
Il pH e la conducibilità sono fondamentali nei processi di neutralizzazione dei rifiuti, soprattutto quando si tratta di sostanze chimiche nocive come l'acido fluoridrico o l'ammoniaca. L'utilizzo dei giusti sensori di pH garantisce uno smaltimento sicuro e il rispetto delle normative ambientali.
Il monitoraggio della silice e del sodio aiuta a mantenere la salute delle pile a letto misto o di elettrodeionizzazione, che sono fondamentali per la purificazione dell'acqua.

Altri parametri offline per la qualità dell'acqua

Monitoraggio dei contaminanti organici nell'acqua ultrapura utilizzata nelle fabbriche di semiconduttori. La spettrofotometria UV/Vis è in grado di rilevare tracce di composti organici misurando lo spettro di assorbanza, garantendo che l'acqua soddisfi elevati standard di purezza.

L'analisi dei metalli pesanti misura l'assorbanza di contaminanti specifici, garantendo che i processi di trattamento delle acque reflue siano efficaci e conformi alle normative ambientali.

Impatto ambientale e sostenibilità

L'industria dei semiconduttori è sempre più concentrata sulla riduzione dell'impronta idrica. La legislazione in varie regioni impone alti livelli di riutilizzo e bonifica dell'acqua, spesso fino al 90%. La segregazione e il trattamento efficaci dei flussi di rifiuti, come la neutralizzazione dell'acido fluoridrico e la conversione dell'ammoniaca per uno scarico sicuro, sono passaggi fondamentali in questo processo.

Tecnologia avanzata dei sensori

Una gestione efficace del ciclo dell'acqua nella produzione di semiconduttori non significa solo garantire la massima qualità dell'UPW, ma anche sostenere la responsabilità ambientale. Utilizzando una tecnologia avanzata dei sensori e aderendo a rigorosi protocolli di monitoraggio e manutenzione, gli impianti di semiconduttori possono ottimizzare l'uso dell'acqua, garantire la conformità agli standard normativi e contribuire alla sostenibilità ambientale.

METTLER TOLEDO Thornton offre una gamma completa di sensori e analizzatori, tra cui sensori di pH, conducibilità, resistività, TOC, ossigeno disciolto, rivelazione microbica e silice. La tecnologia ISM (Intelligent Sensor Management) offre diagnostica predittiva, calibrazione adattiva e avvisi di manutenzione, migliorando l'efficienza operativa e riducendo i tempi di fermo.

Le analisi dell'acqua offline eseguite puntualmente aiutano a verificare l'accuratezza del sistema di monitoraggio online, con applicazioni per strumenti da banco come densità, indice di rifrazione, pH, conducibilità, ioni e ossigeno disciolto (DO),titolazione e misure UV/Vis.

I vostri strumenti per la gestione del ciclo dell'acqua

Analisi termica Excellence

Caratterizzazione dei materiali grazie al nostro portfolio completo di strumenti, potenti software e...

Reattori automatici e analisi in situ

Caratterizzazione delle particelle; analisi di reazione; calorimetri di reazione; reattori da labora...

Bilance analitiche

Bilance analitiche di alta precisione: bilance analitiche precise e affidabili e bilance micro anali...

Bilance di precisione

Le nostre bilance di precisione altamente versatili offrono una capacità fino a 64 kg e una leggibil...

Microbilance

Microbilance, ultramicrobilance e microbilance analitiche offrono un'accuratezza insuperabile e una...

Soluzioni per l'automazione della pesata in laboratorio

Aumentate la sicurezza e la produttività automatizzando le operazioni di pesata in laboratorio, dal...

Strumenti per pH da laboratorio

Gli strumenti per pH da laboratorio garantiscono misure accurate di pH, conducibilità, ioni, ORP e o...

Titolatori automatici

Le soluzioni di titolazione METTLER TOLEDO aumentano la produttività del laboratorio con titolatori...

Strumenti per il punto di fusione

Ottieni risultati rapidi e accurati con il nostro strumento per la determinazione del punto di fusio...

Strumento per il punto di goccia e di rammollimento

Ottieni risultati rapidi e accurati con il nostro strumento automatizzato per il punto di goccia e g...

Spettrofotometria UV-Vis

Scopri la nostra gamma di prodotti per la spettrofotometria UV/Vis, inclusi strumenti affidabili, ac...

Rifrattometri/Misuratori Brix

I rifrattometri portatili e da banco determinano l'indice di rifrazione e altri valori correlati (gr...

Densimetri digitali

I nostri accuratissimi densimetri sono adatti a una vasta gamma di applicazioni. Progettati per l'us...

Potenzia i tuoi processi di produzione di semiconduttori con l'assistenza METTLER TOLEDO

Sappiamo che la precisione e l'affidabilità sono essenziali nel tuo lavoro e le nostre soluzioni sono progettate per supportarti in ogni fase del processo. Il nostro team si impegna a mantenere le tue attrezzature in funzione senza intoppi, in modo che tu possa concentrarti su ciò che conta di più: ottenere risultati rivoluzionari. Lavoriamo insieme per migliorare i tuoi sforzi e promuovere l'innovazione nel campo dei semiconduttori.

Ulteriori informazioni