TOC-Analyse in Reinstwasser für die Halbleiterindustrie

Dieser Applikationsbericht zeigt die Bedeutung einer zuverlässigen TOC-Echtzeitanalyse von Reinstwasser in der Halbleiterindustrie auf. In der Mikroelektronikindustrie findet Reinstwasser als besonders stark wirkendes Lösungsmittel Anwendung bei Herstellung und Reinigung von Wafern. Seit etwa 40 Jahren steigt die Anzahl von Mikroschaltkreisen, die dabei auf kleine Siliciumchips geätzt werden, exponentiell an. Zugleich hat sich die Breite der aufgeätzten Linien immer weiter reduziert. Möglich wird dies nur durch immer strengere Vorgaben zur genauen und kontinuierlichen Messung des Gesamtkohlenstoffgehalts (TOC) in Reinstwasser.

In der Halbleiterfertigung gelten mit die strengsten Grenzwerte bezüglich Verunreinigungen mit Ionen und organischen Verbindungen in Versorgungssystemen für Reinwasser und Reinstwasser. Durch die Überwachung des TOC im verwendeten Wasser können Hersteller sowohl Produktqualität als auch Erträge steigern. Fortschritte auf dem Gebiet der Wasserreinigungstechnologie und Innovationen bei Geräte für die Verunreinigungsanalyse spielten eine entscheidende Rolle bei den Verbesserungen und Messungen der Qualität von Reinstwasser. Infolge dieser Fortschritte wiederum wurden die Spezifikationen für den Gehalt an Verunreinigungen in UPW-Systemen verschärft.

Die Messung des Gesamtgehalts an organischem Kohlenstoff (TOC) in Reinstwasser für die Halbleiterfertigung ist eine leistungsfähige Technik zur Überwachung organischer Verunreinigungen und gilt als Gradmesser für den Gesamtzustand eines UPW-Systems in der Mikroelektronikindustrie. Organische Verunreinigungen können die Vermehrung von Bakterien im Wassersystem, den Vorratsbehältern sowie den Prozessanlagen und Aufbereitungsmodulen fördern. Die genaue, schnelle und bequeme Messung des TOC-Gehalts in einem Reinstwassersystem kann ausschussbedingte Verluste in Millionenhöhe verhindern.

Der Sensor 6000TOCi und der Transmitter M800 bieten die erforderliche Leistung, um diesen Anforderungen gerecht werden zu können. Zugleich werden hiermit kontinuierliche Online-Messungen in einem wartungsarmen industriellen Paket mit bewährter Multiparameter-Technologie möglich. Der 6000TOCi wird direkt an den Transmitter M800 angeschlossen. So können noch mehr Parameter gemessen werden. Der 6000TOCi mit dem Transmitter M800 ist mit dem ISM-System (Intelligent Sensor Management) von METTLER TOLEDO ausgestattet. Die erweiterten ISM-Diagnosefunktionen sorgen dafür, dass Ihr Sensor jederzeit optimal funktioniert.

Mehr zu den Einsatzmöglichkeiten des 6000TOCi und des Transmitters M800 bei der TOC-Überwachung in Reinstwasser erfahren Sie im Applikationsbericht sowie auf den folgenden Seiten:

6000TOCi Sensor – Hochleistungssensor für die TOC-Echtzeitüberwachung und die treffsichere genaue Analyse von Reinstwasser für die Halbleiterfertigung. Effizienter Wassersensor mit objektivierbarer Systemleistung.
M800-Transmitter – Multiparameter-Transmitter mit Anschlussmöglichkeit für bis zu drei weitere Analysesensoren, darunter Leitfähigkeit, pH-Wert, ORP oder gelöster Sauerstoff[SST1] sowie Druck-, Füllstands- oder zwei Durchflusssensoren.
Intelligent Sensor Management (ISM) – Digitale Sensortechnologie für vorausschauende Wartung, einfache Sensorhandhabung und eine effiziente Produktion.

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