Анализ TOC сверхчистой воды при производстве полупроводников

Эти рекомендации по применению посвящены оперативному анализу TOC сверхчистой воды, который крайне важен при производстве полупроводников и должен обладать высокой точностью. Сверхчистая вода — самый агрессивный растворитель из используемых в электронной промышленности при очистке и производстве кремниевых пластин. За последние четыре десятилетия плотность компоновки кремниевых микросхем возросла экспоненциально. Увеличение количества элементов и уменьшение ширины линии привели к радикальному ужесточению требований относительно точного и непрерывного измерения TOC сверхчистой воды.

В производстве полупроводников действуют строжайшие допуски относительно содержания ионов и органических частиц в системах чистой и сверхчистой воды. Измерение TOC в воде для производства полупроводников позволяет повысить качество и выход продукта. Немалую роль в повышении качества сверхчистой воды сыграли современные технологии очистки и новые контрольно-измерительные приборы для мониторинга инородных включений. Распространение новых технологий позволило установить новый уровень требований к содержанию загрязнений в системах СЧВ.

Анализ общего органического углерода /TOC — это эффективный метод мониторинга органических инородных включений в сверхчистой воде и общего состояния системы подготовки сверхчистой воды при производстве микроэлектроники. Органические вещества — это питательная среда для бактерий, которые могут жить в системе распределения, накопительных емкостях, технологических каналах и модулях очистки. Точное, быстрое и эффективное измерение содержания органических веществ в системе подготовки сверхчистой воды позволяет предотвратить брак и расходы на его исправление.

Датчик 6000TOCi и трансмиттер M800 обладают необходимыми характеристиками для подготовки сверхчистой воды. Это готовый многопараметрический комплект для промышленного применения, выполняющий непрерывные измерения в режиме реального времени и с малыми затратами на обслуживание. Датчик 6000TOCi подключается непосредственно к трансмиттеру M800 с несколькими каналами для измерения дополнительных параметров. В датчике 6000TOCi и трансмиттере M800 реализована технология цифрового управления датчиками (ISM) МЕТТЛЕР ТОЛЕДО. Расширенные диагностические функции ISM обеспечивают оптимальную работу датчика в любое время.

Узнайте больше о датчике 6000TOCi, трансмиттере M800 и их применении для анализа TOC сверхчистой воды — ознакомьтесь с рекомендациями по применению и посетите следующие страницы:

Датчик 6000TOCi — точный, высокоэффективный датчик общего органического углерода для мониторинга TOC воды в режиме реального времени при производстве полупроводников. Он обеспечивает эффективный расход воды и гарантирует работоспособность системы.
Трансмиттер M800 — многопараметрический трансмиттер, к которому, помимо датчика TOC, можно подключить еще три дополнительных аналитических прибора: датчик проводимости, pH, ОВП или растворенного кислорода [SST1], датчик давления, уровня или два датчика расхода.
Цифровое управление датчиками (ISM) — цифровая технология, которая помогает планировать техническое обслуживание, упрощает работу с датчиками и повышает эффективность производства.

Другие материалы