O2センサ ハイパフォーマンス ISM

O2センサ ハイパフォーマンス ISM

純水用途で高い信頼性.ISM高性能溶存酸素 (DO:Dissolved Oxygen) センサは、低ppbレベルの超純水アプリケーションで卓越したパフォーマンスを発揮します。このセンサは正確で誤差のない高精度測定を実現し、電力とマイクロエレクトロニクス業界の需要に応えます。

低PPB酸素濃度で制御

高性能のDOセンサは、電力およびマイクロエレクトロニクス業界における超純水、低ppbレベル測定の課題に対応します。

正確ですばやい反応

DOセンサの高い精度により、あらゆるレベルで高性能を発揮できるだけでなく、あるレベルから他のレベルに変更したときにも非常に素早く応答できます。

高度な予測診断

このDOセンサにはインテリジェントセンサマネジメント(ISM)テクノロジが搭載されているため、校正と予測診断を簡単にし、メンテナンスの労力を削減します。

品番: 52201209

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特徴

プロセスに応じてカスタマイズ

センサは、発電プラントサイクル化学モニタリング、半導体産業での超純水、純水処理システムで信頼性の高いパフォーマンスを発揮するような特別設計となっています。

長期的安定性を保ちながら迅速な反応

浮遊酸素が測定信号に影響を与えないよう防止する設計により、ISM高性能DOセンサは、発電プラント立ち上げと欠陥のないウェーハ製造を成功させるのに役立つ非常に迅速なダウンスケール応答を提供します。

比類のない耐久性で長い製品寿命

高性能と長寿命を組み合わせたISM高性能DOセンサのガス透過性ステンレススチールメッシュ強化PTFEメンブレンは、要求が過酷な低レベルppbアプリケーション内で高い信頼性を保証します。

ISMがメンテナンスを再定義

デジタルISM技術が、ユーザーにセンサの消耗に関する重要な情報を提供します。正確な診断機能によりセンサのメンテナンスが必要になる時期が予測されるため、メンテナンス計画が簡単になります。

仕様

仕様 - O2センサ ハイパフォーマンス ISM

測定技術
電流/ポーラログラフ
動作範囲
0 ppb – 10,000 ppb
精度
± 1%(読取値)または 1 ppb のどちらか大きい方、± 0.5°C
流量
50 mL/min – 1,000 mL/min
測定温度範囲(摂氏)
温度補正 0 ~ 60°C、温度耐性 100°C
測定温度範囲(華氏)
温度補正 32 ~ 140°F、温度耐性 212°F
応答時間
90秒で98%
プリアンプ
一体型
インテリジェントセンサマネジメント(ISM®)
はい
重量
フローハウジング付属で 1 kg (2 lb)
接液部の材質
ポリフェニレンサルファイド製プローブ本体
ポリアセタール製フローハウジング
PTFE膜(ステンレス鋼、シリコーンゴム、 Viton®、シリコーンゴムO リングで補強)
ケーブルコネクタ (2)
1/4” NPT(M)
ケーブル
非対応
品番
52201209
センサ長
210 mm
モデルファミリー
UPW DO センサ
ISM (デジタル式) またはアナログ
ISM (デジタル式)
測定パラメータ
酸素
測定耐圧力
0 bar – 5 bar
主な媒体/アプリケーション
半導体用水
製薬用水
発電所の水/蒸気
オークレーブ可能/滅菌可能
なし

ドキュメント

カタログ

カタログ:半導体・精密電子部品産業向け純水管理
50年以上も前に、ソーントンは独自の超純水向けアナログ式比抵抗計を開発・製造し、その後業界で初めて、超純水向け温度補正機能装備のマイクロプロセッサを用いた比抵抗測定機器を開発しました。ソーントンは長年にわたって比抵抗の限界値を定義し、その測定器は半導体産業において比抵抗測定の標準となりました。

その他の製品情報

ソーントン製純水監視機器についての一般的な質問
ソーントンは、半導体、マイクロエレクトロニクス、電力、製薬、バイオテクノロジーの分野で使用される純水と超純水の工業用水モニタリングシステムで、世界をリードしています。 水の純度を測定・管理する導電率、比抵抗、TOC、溶存酸素およびオゾンのインライン測定ソリューションを提供しています。

アクセサリー

消耗品

ソフトウェア

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