電阻率測量精度

一家大型半導體製造商需要一種電阻率感測器，其性能將超過目前可用的儀器。梅特勒-托利多 Thornton 與晶圓廠合作開發了一種感測器，為電阻率測量樹立了新標準。

製造商對提高產量的要求要求達到遠高於當前行業標準的電阻率測量穩定性和精度水準。與梅特勒-托利多建立了合作夥伴關係，以尋找解決方案。

其結果是超純水 UniCond（TM），這是一款電阻率感測器，具有比以前更好的溫度補償、信號穩定性和環境隔離性。

基於非常成功的測試結果，該製造商已接受 超純水 UniCond 作為其新的電阻率測量解決方案，並指定其全球所有工廠在升級或設計新晶圓廠時都使用新感測器。

本案例研究著眼於製造商執行的測試和結果。