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隨著在單位數奈米範圍對每晶圓的晶片數要求越來越多以及更窄的線寬，半導體正迅速進化中。為達成這些挑戰，需要實行超純水（UPW）監測與控制，以便監測可能負面影響晶圓良率的離子雜質。為確保水純度，必須生產線上即時監測的兩大關鍵參數是總有機碳（TOC）和電阻率。UPW系統於次ppb等級準確測量這些參數的能力，可讓半導體製造商改善生產品值並盡可能提高良率。
6000TOCi和M800為微電子產業提供先進的工具，以達成UPW系統需要的生產線上連續測量與製程控制。METTLER TOLEDO TOC系統可降低每測量點的成本，並且具有快速的回應、先進的內建診斷功能以及次ppb檢測。
UniCond感測器、6000TOCi與M800傳送器是微電子產業在降低風險並改善良率上的最佳投資。
本白皮書涵蓋了下列主題：
- 線上電阻率與TOC分析的重要性
- 半導體製造中的超純水
- 即時持續的電阻率和TOC監測
METTLER TOLEDO針對微電子產業的理想產品解決方案分別是6000TOCi感測器、UniCond感測器以及M800傳送器。
6000TOCi是一種線上TOC感測器，能即時提供數據並給予預測性診斷。感測器每秒測量一次，對水系統進行連續的TOC分析。在需要迅速偵測TOC量變化的所有純水應用中，6000TOCi是理想的選擇，且該感測器提供了全面的歷史與主要統計的紀錄保存。
METTLER TOLEDO的UniCond感測器提供了高度可重複性的測量準確性。UniCond感測器搭載了智慧型感測器管理（ISM）功能。與類比探針相比，ISM感測器能提供更為改進的效能，這是基於幾個原因，包括可將感測器的類比訊號轉換為參數實際測量值的板載微處理器。
METTLER TOLEDO M800 傳送器可讓測量系統更為完整。這是一種多參數傳送器，實現了彈性安裝以及簡化的製程控制測量。此傳送器能同時監控一、二或四個生產線上的感測器。
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "電導率感測器/水阻值感測器")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "傳送器")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "在線型酸鹼度探頭/ORP（氧化還原）電極")