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電阻率測量,即電導度的倒數,是微電子產業最關鍵的監控參數,目的是維持超純水質。 高度穩定的電阻率測量,對於半導體製造業者生產高品質產品,實屬必要條件。
一家北美半導體製造廠為改進製程與最終產品,想找到一個電阻率測量系統,滿足自家的高預期標準。 這家業者與METTLER TOLEDO攜手合作,在自家超純水系統花費數星期測試UPW UniCond®系統的電阻率測量。 分析水迴路的測試結果後,這家製造廠觀察到電阻率測量性能比原本的產品解決方案大幅提升了。 這業者選擇更新自家策略,在新廠與設施升級指定要用UPW UniCond感測器。 電阻率測量的成果超出預期,獲得的穩定性與精準度,超越市面上任何其他電阻率感測器。
本案例研究範圍涵蓋下列:
- 客戶情況的背景
- 電阻率測量試驗裝置的評估
- 結果評估
METTLER TOLEDO的UPW UniCond感測器提供了高度可重複性的測量準確性。 強化的數位訊號處理可減少雜訊並提供測量穩定度上數量級的改善。 UPW UniCond感測器搭載了智慧型感測器管理(ISM)的功能。 ISM電導度感測器提供比類比探針更為改進的效能,原因是內建的微處理器能將感測器的類比訊號轉換為實際電導度測量值。
UPW UniCond感測器 提供高量測準確度,是因為將集成電極常數、溫度感測器與測量電路作為同一個裝置進行校正。 由於量測電路為自含式與密封式,不同電纜長度、連接方式或傳輸器變更不會產生負面影響。 感測器輸出高度完整的數位訊號,該訊號不會受到周遭設備與環境干擾或衰減。