 |
Glavni izdelovalec polprevodnikov je potreboval senzor upornosti, ki bi presegel zmogljivost trenutno razpoložljivih instrumentov. Podjetje METTLER TOLEDO Thornton je sodelovalo s tovarno na senzorju, ki postavlja nov standard pri merjenju upornosti.
Zahtevano upoštevanje izboljšanega proizvodnega donosa proizvajalca je zahtevalo stopnjo upornosti, merjenja, stabilnosti in natančnosti, ki je precej presegla trenutne industrijske standarde. Za iskanje rešitve je bilo vzpostavljeno partnerstvo s podjetjem METTLER TOLEDO.
Rezultat je UPW UniCond (TM), senzor upornosti z bistveno boljšo temperaturno kompenzacijo, stabilnostjo signala in izolacijo okolja, kot je bilo prej na voljo.
Na podlagi zelo uspešnih rezultatov testov je proizvajalec sprejel UPW UniCond kot svojo novo rešitev za merjenje upornosti in določil, da vsi njihovi globalni obrati uporabljajo nov senzor pri nadgradnji ali oblikovanju novih fabov.
Ta študija primera obravnava testiranje, ki ga je opravil izdelovalec, in rezultate.
Ker se širine polprevodniških linij še naprej zmanjšujejo, se bo potreba po izboljšanju kakovosti UPW le še povečala, da bi ohranili visok donos rezin.
Večina senzorjev upornosti ponuja natančnost merjenja +/- 1%. Trenutno ravni delovanja, ki jih določa SEMI F63, spadajo v to območje napak. Ta stopnja negotovosti je lahko sprejemljiva za nekatere postopke, vendar poltovarnam ne pomaga zadovoljiti njihovih potreb po proizvodnji tehnologij naslednje generacije. UPW UniCond je edini razpoložljivi senzor upornosti, ki lahko doseže ≥0,5-odstotno natančnost pri merjenju upornosti s temperaturno kompenzacijo.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Senzor prevodnosti/senzor upornosti")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Oddajniki")