 |
Panoga polprevodnikov hitro napreduje, povpraševanje po več čipih na rezino in ožjih linijskih širinah v razponu enomestnih nanometrov. V odziv na te izzive je treba uvesti spremljanje in nadzor ultra čiste vode (UPW), s katerim se zaznava ionske nečistoče, ki bi lahko negativno vplivale na izkoristek rezine. Kritična parametra, ki ju je treba spremljati na liniji in v realnem času, da se zagotovi čistost vode, sta skupni organski ogljik (TOC) in upornost. Možnost točnega merjenja teh parametrov na ravneh, nižjih od delcev na milijardo, v sistemih ultra čiste vode, omogoča proizvajalcem polprevodnikom izboljšanje kakovosti izdelkov in povečanje izkoristka.
Izdelka 6000TOCi in M800 zagotavljata panogi mikroelektronike najnaprednejše orodja za izvajanje neprekinjenih meritev na liniji in nadzor procesa, potrebna za sisteme z ultra čisto vodo. Sistem TOC družbe METTLER TOLEDO zagotavlja najnižji strošek na merilno točko z najhitrejšim odzivom, napredno integrirano diagnostiko in zaznavanje na ravni, nižji od delcev na milijardo.
Senzorja UniCond in 6000TOCi ter oddajnik M800 so najboljša naložba za zmanjšanje tveganja in izboljšanje izkoristka v panogi mikroelektronike.
Ta bela knjiga zajema naslednje teme:
- Pomen analize upornosti na liniji in TOC analize
- Ultra čista voda v proizvodnji polprevodnikov
- Neprekinjeno spremljanje upornosti in TOC v realnem času
Idealne rešitve izdelkov podjetja METTLER TOLEDO za panogo mikroelektronike so: senzor 6000TOCi, senzor UniCond in oddajniki M800.
6000TOCi je linijski TOC senzor, ki zagotavlja podatke v realnem času in ponuja napovedovalno diagnostiko. Senzor izvaja meritve vsako sekundo, s čimer omogoča neprekinjeno TOC analizo vodnega sistema. Senzor 6000TOCi je idealen pri vseh načinih uporabe s čisto vodo, kjer je zaznavanje sprememb ravni TOC kritičnega pomena in senzor zagotavlja celovito beleženje zgodovine ter ključne statistike.
Senzor UniCond podjetja METTLER TOLEDO ponuja zelo ponovljivo natančnost merjenja. Senzor UniCond je opremljen s tehnologijo Intelligent Sensor Management (ISM). Senzorji ISM ponujajo izboljšano učinkovitost prek analognih sond zaradi številnih razlogov, vključno z vgrajenim mikroprocesorjem, ki pretvori analogni signal iz senzorja v dejansko meritev parametra.
Merilni sistem dopolnjuje oddajnik METTLER TOLEDO M800. Gre za oddajnik več parametrov, ki ponuja prilagodljivost namestitve in poenostavljene meritve za nadzor procesa. Hkrati lahko spremlja enega, dva ali štiri linijske senzorje.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Senzor prevodnosti/senzor upornosti")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Oddajniki")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Linijska pH Sonda/ORP (redoks) sonda")