 |
Merjenje upornosti, kar je obratno od prevodnosti, je najbolj kritičen parameter, ki ga je treba nadzirati v mikroelektronski industriji, da se ohrani kakovost ultra čiste vode. Za izdelavo visokokakovostnih izdelkov v proizvodnji polprevodnikov je potrebno zelo stabilno merjenje upornosti.
Da bi izboljšali svoje procese in končni izdelek, je velika severnoameriška tovarna za proizvodnjo polprevodnikov iskala sistem merjenja upornosti, ki bi izpolnil njihova velika pričakovanja. V sodelovanju s podjetjem METTLER TOLEDO je tovarna več tednov preskušala sistem UPW UniCond® za merjenje upornosti v sistemu za ultra čisto vodo. Po analizi rezultatov preskusa v njihovem krogotoku so v tovarni opazili občutno izboljšanje učinkovitosti merjenja upornosti v primerjavi z rešitvijo, ki so jo uporabljali prej. Odločili so se za posodobitev svoje strategije ter za nove obrate in nadgradnje izbrali senzor UPW UniCond. Dobljene meritve upornosti so presegle vsa pričakovanja: stabilnost in natančnost sta presegali zmogljivost vseh drugih senzorjev upornosti, ki so na voljo na trgu.
Ta študija primera zajema:
- ozadje razmer dotične stranke
- oceno preskusne postavitve merjenja upornosti
- oceno rezultatov
Senzor UPW UniCond podjetja METTLER TOLEDO ponuja zelo ponovljivo natančnost merjenja. Izboljšana obdelava digitalnega signala zmanjšuje šum in zagotavlja veliko izboljšavo stabilnosti merjenja. Senzor UPW UniCond je opremljen s tehnologijo Intelligent Sensor Management (ISM). Senzorji ISM so bolj učinkoviti v primerjavi z analognimi sondami, ker imajo vgrajen mikroprocesor, ki pretvori analogni signal iz senzorja v dejansko merjenje prevodnosti.
Senzorji UPW UniCond zagotavljajo izjemno natančnost merjenja, saj so celična konstanta, senzor temperature in merilna vezja v njih kalibrirani kot enota. Merilna vezja so samostojna in zaprta, zato ni negativnih vplivov, ki bi nastali zaradi spremenljive dolžine kabla, priključkov ali spremembe transmiterjev. Senzorji oddajajo zelo močan digitalni signal, ki je neobčutljiv na morebitne motnje ali degradacije, ki bi nastajale zaradi zunanje opreme in okolja.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Senzor prevodnosti/senzor upornosti")
