Učinkovito upravljanje vodnega cikla je ključnega pomena pri proizvodnji polprevodnikov zaradi obsežne uporabe ultračiste vode (UPW) v različnih procesih. Polprevodniška industrija je največji porabnik UPW na svetu, kar zahteva stroge protokole za učinkovito upravljanje in recikliranje tega vira.
Instrumenti METTLER TOLEDO Thornton spremljajo vse faze čiščenja vode v liniji, medtem ko so laboratorijski instrumenti METTLER TOLEDO idealni za točne preglede kakovosti vode v laboratoriju in na liniji.
Vodni cikel v proizvodnji polprevodnikov se začne s surovo vodo (1), ki se pripelje v objekt, kjer je podvržena predobdelavi (2), ličenju in poliranju (3). Ko je UPW poliran, se razdeli v proizvodni obrat (4 - Fab), kjer se uporablja v več orodjih in postopkih, kot so čiščenje, jedkanje in kemična mehanska planarizacija (CMP). Po uporabi se voda pogosto predela (5) za recikliranje v zanki UPW, uporablja v drugih aplikacijah, kot so kotli in pralniki (11), ali obravnava kot odpadek (6) na podlagi stopnje onesnaženosti.
Upornost in skupni organski ogljik (TOC) sta bistvenega pomena za spremljanje kakovosti UPW. Na primer, upornost ne sme biti manjša od 18,18 mega ohmov na centimeter pri 25 ° C, ravni TOC pa morajo biti pod 1 delom na milijardo (ppb).
Raztopljeni kisik (DO) je ključnega pomena za preprečevanje kontaminacije. Optični senzorji za otopljeno kisik iz Thorntona ponujajo dolgo življenjsko dobo in zahtevajo minimalno vzdrževanje, zaradi česar so idealni za vzdrževanje nizke ravni raztopljenega kisika.
pH in prevodnost sta ključna v procesih nevtralizacije odpadkov, zlasti pri ravnanju s škodljivimi kemikalijami, kot sta fluorovodikova kislina ali amoniak. Uporaba pravih pH senzorjev zagotavlja varno odstranjevanje in skladnost z okoljskimi predpisi.
Spremljanje silicijevega dioksida in natrija pomaga ohranjati zdravje mešanih ali elektrodeionizacijskih skladov, ki so ključni za čiščenje vode.
Organske spojine Spremljanje organskih onesnaževalcev v ultračisti vodi, ki se uporabljajo v tovarnah polprevodnikov. UV/Vis spektrofotometrija lahko zazna sledove organskih spojin z merjenjem spektra absorpcije, kar zagotavlja, da voda izpolnjuje visoke standarde čistosti.
Analiza težkih kovin meri absorpcijo specifičnih onesnaževalcev, s čimer zagotavlja, da so postopki čiščenja odpadnih voda učinkoviti in skladni z okoljskimi predpisi.
Polprevodniška industrija se vse bolj osredotoča na zmanjšanje vodnega odtisa. Zakonodaja v različnih regijah določa visoke stopnje ponovne uporabe in predelave vode, pogosto do 90 %. Učinkovito ločevanje in obdelava tokov odpadkov, kot sta nevtralizacija fluorovodikove kisline in pretvorba amoniaka za varen izpust, sta kritična koraka v tem procesu.
Učinkovito upravljanje vodnega cikla v proizvodnji polprevodnikov ne pomeni le zagotavljanja najvišje kakovosti UPW, temveč tudi ohranjanje okoljske odgovornosti. Z uporabo napredne senzorske tehnologije in upoštevanjem strogih protokolov spremljanja in vzdrževanja lahko polprevodniški obrati optimizirajo porabo vode, zagotovijo skladnost z regulativnimi standardi in prispevajo k okoljski trajnosti.
METTLER TOLEDO Thornton ponuja obsežen portfelj senzorjev in analizatorjev, vključno s senzorji za pH, prevodnost, upornost, TOC, raztopljeni kisik, mikrobno zaznavanje in silicijev dioksid. Ti instrumenti so sestavni del ohranjanja najvišje kakovosti UPW. Tehnologija ISM (Intelligent Sensor Management) ponuja napovedno diagnostiko, prilagodljivo kalibracijo in opozorila o vzdrževanju, kar povečuje operativno učinkovitost in zmanjšuje izpade.
Analize vode brez povezave, ki se izvajajo pravočasno, pomagajo preveriti natančnost spletnega sistema za spremljanje z aplikacijami za namizne instrumente, kot so gostota, lomni količnik, pH, prevodnost, ioni in raztopljeni kisik (DO),titracija in meritve UV/VIS.
Zavedamo se, da sta natančnost in zanesljivost bistvenega pomena pri vašem delu, naše rešitve pa so zasnovane tako, da vas podpirajo na vsakem koraku. Naša ekipa je predana zagotavljanju nemotenega delovanja vaše opreme, tako da se lahko osredotočite na tisto, kar je najpomembnejše – doseganje prelomnih rezultatov. Sodelujmo, da okrepimo vaša prizadevanja in spodbudimo inovacije na področju polprevodnikov.
