비저항 측정 정확도의 새로운 표준을 정립하는 센서

주요 반도체 제조 업체는 현재 사용 가능한 기기의 성능을 능가하는 비저항 센서가 필요했습니다. METTLER TOLEDO Thornton은 비저항 측정의 새로운 표준을 설정하는 센서에 대해 제조사와 협력했습니다.

생산 수율 향상에 대한 제작자의 까다로운 요구는 현재 산업 표준을 훨씬 뛰어 넘는 수준의 비저항 측정 안정성과 정확성을 필요로했습니다. 해결책을 찾기 위해 METTLER TOLEDO와의 파트너십이 설정되었습니다.

그 결과 이전에 사용 가능했던 것보다 훨씬 더 나은 온도 보상, 신호 안정성 및 환경 분리를 제공하는 비저항 센서인 UPW UniCond(TM)가 탄생했습니다.

매우 성공적인 테스트 결과를 바탕으로 제작업체는 UPW UniCond를 새로운 비저항 측정 솔루션으로 채택하고 모든 글로벌 공장에서 새로운 시설을 업그레이드하거나 설계할 때 새 센서를 사용하도록 지정했습니다.

이 사례 연구에서는 제작자가 수행한 테스트와 결과를 살펴봅니다.

반도체 선폭이 계속 좁아짐에 따라 높은 웨이퍼 수율을 유지하기 위해 UPW 품질을 개선해야 할 필요성이 커질 것입니다.

대부분의 비저항 센서는 +/- 1%의 측정 정확도를 제공합니다. 현재 SEMI F63에 의해 설정된 작업 수준은 이 오차 범위 내에 속합니다. 이러한 수준의 불확도는 일부 공정에서 허용 가능할 수 있지만 반도체 제조업체가 차세대 기술 생산 요구사항을 충족시키는 데는 도움이 되지 않습니다. 초순수(UPW) UniCond는 온도 보상 비저항 측정에서 ≥0.5%의 정확도를 달성할 수 있는 유일한 비저항 센서입니다.

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