디지털 센서를 통한 비저항 측정

전도도의 역인 비저항 측정은 초순수 수질을 유지하기 위해 마이크로 전자 공학 산업에서 모니터링하는 가장 중요한 파라미터입니다. 반도체 제작업체에서 고품질 제품을 생산하려면 매우 안정적인 비저항 측정이 필요합니다.

북미의 한 대형 반도체 제조 공장에서 공정과 최종 제품을 개선하고자, 높은 기대치를 충족할 수 있는 비저항 측정 시스템을 찾고 있었습니다. 제작업체는 메틀러 토레도와의 파트너십을 통해 몇 주 동안 초순수 시스템에서 비저항 측정을 위해 초순수(UPW) UniCond^® 시스템을 테스트했습니다. 용수 루프에서 테스트 결과를 분석한 후 제조 공장에서 이전 제품 솔루션에 비해 비저항 측정 성능이 크게 향상되었습니다. 이들은 전략을 업데이트하고 새로운 공장과 시설 업그레이드에서 초순수(UPW) UniCond 센서를 지정하기로 결정했습니다. 획득한 비저항 측정 값은 시중에 있는 다른 저항 센서의 기능을 능가하는 안정성과 정확성으로 모든 기대를 뛰어 넘는 성능을 보였습니다.

본 사례 연구는 다음을 다룹니다.

• 고객 상황의 배경
• 비저항 측정의 테스트 설정 평가
• 결과 평가