TDL分光計のパラメータ

in situガスモニタリング用波長可変半導体レーザー分光計

波長可変半導体レーザー分光計は、工業生産環境でのさまざまな一般的なガス濃度を測定するように設計されています。メトラー・トレドのGPro 500 TDL分光計は、酸素、一酸化炭素、二酸化炭素、水分、硫化水素、塩化水素、アンモニア、メタンをモニタリングすることができます。GPro 500 TDL分光計は、広範囲のプロセス環境でのガス流内で直接測定できるプロセス適合オプションと統合することができます。

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FAQs

波長可変半導体レーザー分光計とは?

波長可変半導体レーザー分光計(TDL分光計)は、レーザー吸収分光法を使用してガス混合物中の特定ガス種の濃度を測定するガス分析計です。TDL分光計では、特定のガス種を識別するように調整されたレーザー光線がガスを通過して検出器へと送られます。経路上に対象ガスが存在すると、光が吸収され信号強度が低下します。TDL分光計の検出器に到達する光は、光ダイオードによって捕捉され、分析後、ガス濃度が定量化されます。

TDL分光計で測定できるガス種とは?

メトラー・トレドのGPro 500 TDL分析計は、一酸化炭素 (CO%)、二酸化炭素 (CO2%)、塩化水素 (HCl)、硫化水素 (H2S)、気体酸素 (O2)、メタン、アンモニア、水分を測定することができます。これらの分析計をさまざまなプロセス適合オプションと組み合わせることにより、お客様の要求を満たす波長可変半導体レーザー分析計を提供することができます。例えば、酸素ガス分析計をフィルタープローブと組み合わせることにより、粒子濃度の高いガス流に酸素TDL分析計を設置することができます。同じ酸素ガス分析計をウエハー適合装置と組み合わせることにより、小径配管(最小DN50)の酸素用インラインTDLガス分析計を作ることができます。