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マイクロエレクトロニクスにおけるUPWの最も重要な測定パラメータは、全有機炭素、比抵抗、シリカ、溶存酸素、および溶存オゾンです。水質を保護するには、メトラー・トレドが提供する高性能のオンラインセンサと分析装置を使用する必要があります。
ガイド「マイクロエレクトロニクスにおけるUPWの5つの重要な測定」には、マイクロエレクトロニクス産業における水の純度測定の重要性に関するさまざまな記事があります。
1964年以来、メトラー・トレド ソーントンは半導体業界における水の純度の最前線に立ち、UPW測定のリーダーとして世界的に認められています。UPWを監視することで、最終製品を汚染物質から保護し、歩留まりの向上、サイクルタイムの短縮、運用経済性の向上を実現します。比抵抗/導電率、TOC、微生物汚染、pH、ORP、DO、シリカ、ナトリウム、O3に関するメトラー・トレドの機器は、重要なUPWシステムを監視および制御するために、世界中のマイクロエレクトロニクス製造施設で指定されています。「マイクロエレクトロニクスにおけるUPWの5つの重要な測定」には、さまざまな測定パラメータに関する記事があります。
- TOC & オンライン
- 比抵抗、厳しい要件に対応するアナライザー
- 溶存酸素、高速応答、微量モニタリング
- 溶存オゾン、システムサニタイズの確認
メトラー・トレドのセンサ製品ラインアップには、以下のようなものがあります:
- 酸素レベルを監視するためのインライン溶存酸素センサ
- 高速かつ連続的な測定のためのTOC分析装置
- 最高の精度と最小限のメンテナンスを備えた抵抗率センサ
- 純水制御用シリカ分析装置
- 迅速なオゾン測定のための溶存オゾンセンサ
