超純水の水質評価

半導体製造に使用される超純水は非常に高い純度ですが、微量の一般金属やその他のイオンが含まれているため、ウェーハの歩留まりに悪影響を与える可能性があります。そのため、耐水性の正確でリアルタイムのモニタリングが重要になります。

半導体の線幅が狭くなり続け、業界が3nmプロセスノードを超えるにつれて、超純水の品質を改善する必要性は高まるばかりです。比抵抗センサーの精度は、ゼロ以外のバックグラウンドでの非常に小さな比抵抗の変化を確実に検出するために進化し続ける必要があります。

メトラー・トレドは、業界パートナーとのコラボレーションを通じて、これまでよりも大幅に優れた温度補償、信号安定性、環境分離を備えた比抵抗センサを開発しました。この測定精度の向上により、PoDおよびPoUでのUPW品質が向上し、ウェーハの歩留まりが向上します。