半导体超纯水中的总有机碳分析

半导体制造工艺对纯水和超纯水系统中离子和有机物污染方面有着几近苛刻的规定。 通过对半导体用水进行总有机碳测量，制造商改善了产品质量，较大限度提高了产量。 水净化技术的提高和监测污染物仪器的创新，在改善和测量超纯水质量方面起到了很大的作用。 这些进步反过来促使超纯水系统中污染物含量水平更低的规范。

半导体超纯水中的总有机碳/TOC分析是用于监测超纯水中的有机污染物和超纯水系统的“健康”水平的一个强大方法。 有机物为配送系统、储罐和工艺技术或处理模块中可能存在的任何细菌提供了食物来源。 超纯水系统中准确、快速和方便的有机物含量测量可以防止产品损失，节省数百万美元。

6000TOCi传感器和M800变送器在采用久经考验的多参数技术和低维护的工业设计，在提供了满足上述要求所需性能的同时，实现持续的在线测量。 6000TOCi传感器与M800变送器直接相连，提供了附加测量参数能力。 带有M800变送器的6000TOCi传感器配备了梅特勒托利多的智能传感器管理(ISM)系统。 ISM的高级诊断功能可确保传感器始终保持良好性能。

阅读该应用说明，访问下面的内容，更多了解6000TOCi传感器和M800变送器，以及如何将其用于超纯水中的总有机碳分析：

• 6000TOCi传感器—高性能总有机碳传感器，用于通过实时的测量和稳定准确的分析来监测半导体用水的总有机碳。 具有可验证系统性能的高效水传感器。
• M800变送器—除了总有机碳之外，该多参数变送器还可配置另外三种分析传感器，包括电导率、pH值、ORP或溶解氧[SST1]，另外还可配置压力、水箱水位或两种流速传感器。
• 智能传感器管理（ISM）—数字传感器技术，用于确保可预测的维护、简化传感器操作和高效生产。