Effectief beheer van de watercyclus is cruciaal bij de productie van halfgeleiders vanwege het uitgebreide gebruik van ultrapuur water (UPW) in verschillende processen. De halfgeleiderindustrie is wereldwijd de grootste consument van UPW, waardoor strenge protocollen nodig zijn om deze hulpbron efficiënt te beheren en te recyclen.
De Thornton-instrumenten van METTLER TOLEDO bewaken alle fasen van de waterzuivering in-line, terwijl de laboratoriuminstrumenten van METTLER TOLEDO ideaal zijn voor punctuele waterkwaliteitscontroles in laboratoria en at-line-toepassingen.
De watercyclus in de productie van halfgeleiders begint met ruw water (1) dat naar de faciliteit wordt gebracht, waar het wordt voorbehandeld (2), gecompromitteerd en gepolijst (3). Eenmaal gepolijst, wordt de UPW gedistribueerd naar de fabricagefabriek (4 - Fab), waar het wordt gebruikt in meerdere gereedschappen en processen, zoals reinigen, etsen en chemisch-mechanische planarisatie (CMP). Na gebruik wordt het water vaak teruggewonnen (5) voor recycling binnen de UPW-kringloop, gebruikt in andere toepassingen zoals ketels en gaswassers (11), of behandeld als afval (6) op basis van de verontreinigingsniveaus.
Weerstand en totale organische koolstof (TOC) zijn essentieel voor het bewaken van de UPW-kwaliteit. De soortelijke weerstand mag bijvoorbeeld niet lager zijn dan 18,18 mega ohm per centimeter bij 25 ° C en de TOC-niveaus moeten onder 1 deel per miljard (ppb) worden gehouden.
Opgeloste zuurstof (DO) is van cruciaal belang om besmetting te voorkomen. De optische DO-sensoren van Thornton bieden een lange levensduur en vereisen minimaal onderhoud, waardoor ze ideaal zijn voor het handhaven van een laag niveau van opgeloste zuurstof.
pH en geleidbaarheid zijn essentieel bij afvalneutralisatieprocessen, vooral bij het omgaan met schadelijke chemicaliën zoals fluorwaterstofzuur of ammoniak. Het gebruik van de juiste pH-sensoren zorgt voor een veilige verwijdering en naleving van de milieuvoorschriften.
Silica- en natriummonitoring helpt de gezondheid van mengbed- of elektrodeïonisatiestapels te behouden, die cruciaal zijn voor waterzuivering.
Organische verbindingen Monitoring van organische verontreinigingen in ultrapuur water dat wordt gebruikt in halfgeleiderfabrieken. UV/Vis-spectrofotometrie kan sporen van organische verbindingen detecteren door het absorptiespectrum te meten, zodat het water aan hoge zuiverheidsnormen voldoet.
Analyse van zware metalen meet de absorptie van specifieke verontreinigingen en zorgt ervoor dat afvalwaterzuiveringsprocessen effectief zijn en voldoen aan de milieuvoorschriften.
De halfgeleiderindustrie is steeds meer gericht op het verkleinen van haar watervoetafdruk. Wetgeving in verschillende regio's schrijft hoge niveaus van hergebruik en terugwinning van water voor, vaak tot 90%. Effectieve scheiding en behandeling van afvalstromen, zoals het neutraliseren van fluorwaterstofzuur en het omzetten van ammoniak voor een veilige lozing, zijn cruciale stappen in dit proces.
Effectief beheer van de watercyclus bij de productie van halfgeleiders gaat niet alleen over het waarborgen van de hoogste kwaliteit van UPW, maar ook over het behouden van verantwoordelijkheid voor het milieu. Door gebruik te maken van geavanceerde sensortechnologie en zich te houden aan strenge monitoring- en onderhoudsprotocollen, kunnen halfgeleiderfaciliteiten hun watergebruik optimaliseren, voldoen aan de wettelijke normen en bijdragen aan ecologische duurzaamheid.
METTLER TOLEDO Thornton biedt een uitgebreid assortiment sensoren en analysers, waaronder pH-, geleidbaarheids-, weerstands-, TOC-, opgeloste zuurstof-, microbiële detectie- en silicasensoren. Deze instrumenten zijn een integraal onderdeel van het handhaven van de hoogste kwaliteit UPW. ISM-technologie (Intelligent Sensor Management) biedt voorspellende diagnostiek, adaptieve kalibratie en onderhoudswaarschuwingen, waardoor de operationele efficiëntie wordt verbeterd en de uitvaltijd wordt verminderd.
Offline wateranalyses die punctueel worden uitgevoerd, helpen bij het verifiëren van de nauwkeurigheid van het online monitoringsysteem, met toepassingen voor tafelinstrumenten zoals dichtheid, brekingsindex, pH, geleidbaarheid, ionen en opgeloste zuurstof (DO),titratie en UV/Vis-metingen.
We begrijpen dat precisie en betrouwbaarheid essentieel zijn in uw werk, en onze oplossingen zijn ontworpen om u bij elke stap te ondersteunen. Ons team is toegewijd om uw apparatuur soepel te laten werken, zodat u zich kunt concentreren op wat het belangrijkst is: het behalen van baanbrekende resultaten. Laten we samenwerken om uw inspanningen te verbeteren en innovatie op het gebied van halfgeleiders te stimuleren.
