 |
Een grote fabrikant van halfgeleiders had een weerstandssensor nodig die de prestaties van de momenteel beschikbare instrumenten zou overtreffen. METTLER TOLEDO Thornton werkte samen met de fabriek aan een sensor die een nieuwe standaard zet op het gebied van weerstandsmeting.
De veeleisende naleving door de fabrikant van een verbeterd productierendement vereiste een niveau van weerstandsmeting, stabiliteit en nauwkeurigheid dat veel verder ging dan de huidige industrienormen. Er werd een partnerschap met METTLER TOLEDO opgezet om een oplossing te vinden.
Het resultaat is de UPW UniCond(TM), een weerstandssensor met aanzienlijk betere temperatuurcompensatie, signaalstabiliteit en omgevingsisolatie dan voorheen beschikbaar.
Op basis van zeer succesvolle testresultaten heeft de fabrikant de UPW UniCond geaccepteerd als hun nieuwe oplossing voor het meten van de weerstand en heeft hij gespecificeerd dat al hun wereldwijde fabrieken de nieuwe sensor gebruiken bij het upgraden of ontwerpen van nieuwe fabrieken.
In deze casestudy wordt gekeken naar de tests die door de fabrikant zijn uitgevoerd en de resultaten.
Naarmate de lijnbreedtes van halfgeleiders steeds kleiner worden, zal de noodzaak om de UPW-kwaliteit te verbeteren alleen maar toenemen om een hoge waferopbrengst te behouden.
De meeste weerstandssensoren bieden een meetnauwkeurigheid van +/- 1%. Momenteel vallen de actieniveaus die zijn ingesteld door SEMI F63 binnen dit foutbereik. Deze mate van onzekerheid kan voor sommige processen aanvaardbaar zijn, maar het helpt semifabs niet om te voldoen aan hun behoeften voor de productie van technologieën van de volgende generatie. De UPW UniCond is de enige beschikbare weerstandssensor die in staat is om een nauwkeurigheid van ≥0,5% te bereiken op een temperatuurgecompenseerde weerstandsmeting.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Conductivity Sensor / Resistivity Sensor")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmitters")