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La mesure de la résistivité, inverse de la conductivité, est le paramètre le plus critique à surveiller dans l’industrie de la microélectronique afin de maintenir la qualité de l’eau ultrapure. Une mesure de la résistivité très stable est nécessaire pour que les fabricants de semi-conducteurs produisent des produits de haute qualité.
Pour améliorer ses procédés et son produit final, une importante usine de fabrication de semi-conducteurs d’Amérique du Nord était à la recherche d’un système de mesure de la résistivité répondant à ses attentes élevées. En partenariat avec METTLER TOLEDO, le fabricant a testé pendant plusieurs semaines le système d’eau ultrapure UniCond® pour la mesure de la résistivité dans son système d’eau ultrapure. Après avoir analysé les résultats du test dans son circuit d’eau, ce fabricant a constaté une amélioration spectaculaire des performances de mesure de la résistivité par rapport à la solution produit précédente. Il a choisi de revoir sa stratégie et d’imposer la sonde d’eau ultrapure UniCond dans ses nouvelles installations et lors de la modernisation de ses installations existantes. Les mesures de résistivité obtenues ont dépassé toutes ses attentes, avec une stabilité et une précision dépassant les capacités de toute autre sonde de résistivité disponible sur le marché.
Cette étude de cas aborde les points suivants :
- Contexte de la situation du client
- Évaluation de la configuration de test pour la mesure de la résistivité
- Évaluation des résultats
La sonde UniCond UPW de METTLER TOLEDO offre une précision de mesure hautement reproductible. Le traitement numérique amélioré du signal réduit le bruit et fournit un ordre de grandeur de l’amélioration de la stabilité de la mesure. La sonde UniCond UPW est équipée de la fonctionnalité Intelligent Sensor Management (ISM). Les sondes de conductivité ISM offrent de meilleures performances que les sondes analogiques grâce à un microprocesseur intégré qui convertit le signal analogique de la sonde en mesure réelle de la conductivité.
Les sondes UniCond UPW offrent une grande précision de mesure puisque leur constante de cellule intégrée, leur sonde de température et leurs circuits de mesure sont tous étalonnés comme s’ils formaient un tout. Il n’y a pas d’influence négative due à la longueur variable des câbles, aux connexions ou au changement de transmetteurs, car les circuits de mesure sont autonomes et étanches. Les sondes émettent un signal numérique très puissant, insensible aux interférences et à la dégradation résultant des équipements et de l’environnement.
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