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Die Messung des Widerstands - das Gegenteil von Leitfähigkeit - ist der kritischste Parameter, der in der Mikroelektronikindustrie überwacht werden muss, um die Qualität von Reinstwasser zu bewahren. Halbleiterhersteller brauchen hochstabile Widerstandsmessungen, um hochwertige Produkte herstellen zu können.
Um ihre Prozesse und das Endprodukt zu verbessern, war eine große nordamerikanische Halbleiterfabrik auf der Suche nach einem Widerstandsmessungssystem, das ihre hohen Erwartungen erfüllen würde. Zusammen mit METTLER TOLEDO testete der Hersteller mehrere Wochen lang das UPW UniCond® System zur Widerstandsmessung in seinem Reinstwassersystem. Nach der Analyse der Testergebnisse in ihrem Wasserkreislauf stellte die Fabrik im Vergleich zur bisherigen Lösung eine stark verbesserte Leistung der Widerstandsmessung fest. Die Fabrik beschloss, ihre Strategie zu ändern und den UPW UniCond-Sensorin neuen Werken und bei Upgrades von Anlagen zu berücksichtigen. Die erhaltenen Widerstandsmessungen übertrafen alle Erwartungen, und die Stabilität und Genauigkeit der Ergebnisse stellten die Leistungen aller anderen Widerstandssensoren auf dem Markt in den Schatten.
Diese Fallstudie befasst sich mit folgenden Aspekten:
- Ausgangssituation beim Kunden
- Evaluierung des Testaufbaus für die Widerstandsmessung
- Auswertung der Ergebnisse
Der UPW UniCond-Sensor von METTLER TOLEDO bietet eine hohe wiederholbare Genauigkeit. Die verbesserte digitale Signalverarbeitung reduziert das Rauschen und steigert die Messstabilität erheblich. Der UPW UniCond-Sensor ist mit Intelligent Sensor Management (ISM) ausgestattet. ISM-Leitfähigkeitssensoren bieten eine verbesserte Leistung gegenüber analogen Sonden dank eines integrierten Mikroprozessors, der das analoge Signal des Sensors in die eigentliche Leitfähigkeitsmessung umwandelt.
UPW UniCond-Sensoren liefern eine hohe Messgenauigkeit, da die integrierte Zellkonstante, der Temperatursensor und die Messkreise alle als Einheit kalibriert werden. Es gibt keine negativen Einflüsse durch unterschiedliche Kabellängen, Anschlüsse oder den Austausch von Transmittern, da die Messkreise in sich geschlossen und abgedichtet sind. Die Sensoren geben ein sehr robustes digitales Signal aus, das gegen Störungen und Minderungen durch die umgebenden Geräte und das Umfeld immun ist.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Leitfähigkeitssensor / Widerstandssensor")
