 |
Ngành công nghiệp bán dẫn đang phát triển nhanh chóng với nhu cầu gia tăng đối với việc có nhiều chip hơn trên mỗi tấm wafer và băng thông đường truyền hẹp hơn trong phạm vi nanomet một chữ số. Để đáp ứng những thách thức này, phải thực hiện giám sát và kiểm soát nước siêu tinh khiết (UPW) để phát hiện các tạp chất ion có thể ảnh hưởng tiêu cực đến năng suất của wafer. Hai thông số quan trọng phải được theo dõi on-line và trong thời gian thực để đảm bảo độ tinh khiết của nước là Tổng lượng cacbon hữu cơ (TOC) và điện trở suất. Khả năng đo chính xác các thông số này ở nồng độ phần triệu trong các hệ thống UPW cho phép các nhà sản xuất chất bán dẫn cải thiện chất lượng sản phẩm và tối đa hóa năng suất.
6000TOCi và M800 đem đến cho ngành vi điện tử công cụ tiên tiến nhất để đáp ứng các hoạt động đo liên tục và kiểm soát quy trình on-line cần thiết cho các hệ thống UPW. Hệ thống TOC của METTLER TOLEDO đảm bảo mức chi phí thấp nhất cho mỗi điểm đo với khả năng phản hồi nhanh nhất, tính năng chẩn đoán tích hợp tiên tiến và phát hiện dưới mức phần triệu.
Cảm biến UniCond, màn hình hiển thị 6000TOCi và M800 là những khoản đầu tư thông minh nhất giúp giảm rủi ro và cải thiện năng suất cho ngành vi điện tử.
Sách trắng này phân tích các chủ đề sau:
- Tầm quan trọng của việc phân tích TOC và điện trở suất on-line
- Nguồn nước siêu tinh khiết trong sản xuất chất bán dẫn
- Giám sát liên tục TOC và điện trở suất theo thời gian thực
Các giải pháp sản phẩm lý tưởng của METTLER TOLEDO dành cho ngành vi điện tử bao gồm cảm biến 6000TOCi, cảm biến UniCond và màn hình hiển thị M800.
6000TOCi là cảm biến TOC on-line, cung cấp dữ liệu trong thời gian thực cùng tính năng chẩn đoán dự đoán. Cảm biến đo mỗi giây, cho phép phân tích TOC liên tục của hệ thống nước. 6000TOCi là sản phẩm lý tưởng trong tất cả các ứng dụng nước tinh khiết, nơi việc phát hiện nhanh chóng các thay đổi mức TOC là yếu tố then chốt và cảm biến cung cấp khả năng lưu trữ toàn diện dữ liệu về lịch sử và các số liệu thống kê quan trọng.
Cảm biến UniCond của METTLER TOLEDO đảm bảo độ chính xác của phép đo có độ lặp lại cao. Cảm biến UniCond được trang bị Quản lý cảm biến thông minh (ISM). Cảm biến ISM giúp cải thiện hiệu suất so với đầu dò analog nhờ một số yếu tố, bao gồm bộ vi xử lý tích hợp giúp chuyển đổi tín hiệu analog từ cảm biến thành phép đo thông số thực tế.
Màn hình hiển thị M800 của METTLER TOLEDO giúp hoàn thiện hệ thống đo lường. Đây là màn hình hiển thị đa thông số, đem đến sự linh hoạt trong quá trình lắp đặt và giúp đơn giản hóa các phép đo kiểm soát quy trình. Màn hình này có thể giám sát đồng thời một, hai hoặc bốn cảm biến in-line.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Cảm biến Độ dẫn điện / Cảm biến Điện trở suất")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Màn hình hiển thị")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Đầu dò pH in-line / Đầu dò ORP (Oxy hóa khử)")