Quản lý chu trình nước hiệu quả là rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn do sử dụng rộng rãi nước siêu tinh khiết (UPW) trong các quy trình khác nhau. Ngành công nghiệp bán dẫn là người tiêu thụ UPW lớn nhất trên toàn cầu, đòi hỏi các giao thức nghiêm ngặt để quản lý và tái chế tài nguyên này một cách hiệu quả.
Thiết bị Thornton của METTLER TOLEDO giám sát tất cả các giai đoạn lọc nước trong dây chuyền, trong khi các thiết bị phòng thí nghiệm của METTLER TOLEDO lý tưởng để kiểm tra chất lượng nước đúng giờ trong phòng thí nghiệm và các ứng dụng tại dây chuyền.
Chu trình nước trong sản xuất chất bán dẫn bắt đầu với nước thô (1) được đưa đến cơ sở, nơi nó trải qua giai đoạn tiền xử lý (2), trang điểm và đánh bóng (3). Sau khi đánh bóng, UPW được phân phối đến nhà máy chế tạo (4 - Fab), nơi nó được sử dụng trong nhiều công cụ và quy trình, chẳng hạn như làm sạch, khắc và phẳng hóa cơ học hóa học (CMP). Sau khi sử dụng, nước thường được thu hồi (5) để tái chế trong vòng lặp UPW, được sử dụng trong các ứng dụng khác như nồi hơi và máy chà sàn (11), hoặc được xử lý như chất thải (6) dựa trên mức độ ô nhiễm của nó.
Điện trở suất và tổng cacbon hữu cơ (TOC) là điều cần thiết để theo dõi chất lượng UPW. Ví dụ, điện trở suất không được nhỏ hơn 18,18 mega ohm trên cm ở 25 ° C và mức TOC phải được giữ dưới 1 phần tỷ (ppb).
Oxy hòa tan (DO) rất quan trọng để ngăn ngừa ô nhiễm. Cảm biến DO quang học của Thornton cung cấp tuổi thọ lâu dài và yêu cầu bảo trì tối thiểu, khiến chúng trở nên lý tưởng để duy trì mức oxy hòa tan thấp.
Độ pH và độ dẫn điện là chìa khóa trong quá trình trung hòa chất thải, đặc biệt là khi xử lý các hóa chất độc hại như axit flohydric hoặc amoniac. Sử dụng cảm biến pH phù hợp đảm bảo xử lý an toàn và tuân thủ các quy định về môi trường.
Giám sát silica và natri giúp duy trì sức khỏe của các ngăn xếp lớp hỗn hợp hoặc khử ion điện, vốn rất quan trọng để lọc nước.
Các hợp chất hữu cơ Giám sát các chất gây ô nhiễm hữu cơ trong nước siêu tinh khiết được sử dụng trong các nhà máy bán dẫn. Phép đo quang phổ UV / Vis có thể phát hiện các hợp chất hữu cơ vi lượng bằng cách đo phổ độ hấp thụ, đảm bảo rằng nước đáp ứng các tiêu chuẩn có độ tinh khiết cao.
Phân tích kim loại nặng đo độ hấp thụ của các chất gây ô nhiễm cụ thể, đảm bảo rằng các quy trình xử lý nước thải hiệu quả và tuân thủ các quy định về môi trường.
Ngành công nghiệp bán dẫn ngày càng chú trọng vào việc giảm thiểu lượng nước tiêu thụ. Luật pháp ở nhiều khu vực yêu cầu mức độ tái sử dụng và thu hồi nước cao, thường lên tới 90%. Việc phân loại và xử lý hiệu quả các dòng chất thải, chẳng hạn như trung hòa axit hydrofluoric và chuyển đổi amoniac để xả thải an toàn, là những bước quan trọng trong quy trình này.
Quản lý chu trình nước hiệu quả trong sản xuất chất bán dẫn không chỉ là đảm bảo chất lượng cao nhất của UPW mà còn là duy trì trách nhiệm với môi trường. Bằng cách sử dụng công nghệ cảm biến tiên tiến và tuân thủ các quy trình giám sát và bảo trì nghiêm ngặt, các cơ sở bán dẫn có thể tối ưu hóa việc sử dụng nước, đảm bảo tuân thủ các tiêu chuẩn quy định và góp phần vào tính bền vững của môi trường.
METTLER TOLEDO Thornton cung cấp danh mục cảm biến và máy phân tích toàn diện, bao gồm cảm biến pH, độ dẫn điện, điện trở suất, TOC, oxy hòa tan, phát hiện vi sinh vật và cảm biến silica. Những thiết bị này không thể thiếu trong việc duy trì UPW chất lượng cao nhất. Công nghệ ISM (Quản lý cảm biến thông minh) cung cấp chẩn đoán dự đoán, hiệu chuẩn thích ứng và cảnh báo bảo trì, nâng cao hiệu quả hoạt động và giảm thời gian ngừng hoạt động.
Phân tích nước ngoại tuyến được thực hiện đúng giờ giúp xác minh độ chính xác của hệ thống giám sát trực tuyến, với các ứng dụng cho các thiết bị để bàn như mật độ, chỉ số khúc xạ, pH, độ dẫn điện, ion và oxy hòa tan (DO),chuẩn độ vàđo UV/Vis.
Chúng tôi hiểu rằng độ chính xác và độ tin cậy là điều cần thiết trong công việc của bạn và các giải pháp của chúng tôi được thiết kế để hỗ trợ bạn từng bước. Đội ngũ của chúng tôi tận tâm giữ cho thiết bị của bạn hoạt động trơn tru để bạn có thể tập trung vào những gì quan trọng nhất — đạt được kết quả đột phá. Hãy cùng nhau làm việc để tăng cường nỗ lực của bạn và thúc đẩy sự đổi mới trong lĩnh vực bán dẫn.
