비저항 및 TOC(총 유기탄소)에 대한 반도체 순수 요건은 다른 산업의 해당 파라미터보다 더욱 까다롭습니다. 유기물 또는 기타 이물질로 인한 기질 손상은 생산 수율을 떨어트릴 수 있습니다. 정확하고, 신속하며, 편리한 측정을 통해 제품 손실로 인한 막대한 비용을 줄일 수 있습니다.
메틀러 토레도 Thornton은 반도체 가공과 초순수 생산에 필요한 핵심 측정에 대한 많은 정보와 경험을 가지고 있습니다. 비저항/전도도, TOC, pH, ORP, 용존 산소 및 용존 오존용 Thornton 장비는 전세계의 많은 반도체 제조 설비에서 UPW 시스템의 모니터 및 제어에 사용되고 있습니다..
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