FBRM測定法（日本語版）

収束ビーム反射測定法（FBRM）技術に基づくParticleTrackはプローブ型測定装置です。さまざまなプロセスへ直接組み込むことができ、粒子のサイズや個数に生じる変化をプロセス濃度でリアルタイムに追跡できます。実験条件には変動が生じるため、粒子、粒子構造、液滴を継続的にモニタリングできることにより、科学者は目的の粒子を一貫して製造するために必要な知見を得ることができます。

ParticleTrackはプローブ型の測定装置であり、Focused Beam Reflectance Measurement(FBRM)と呼ばれる測定技術を使用しています。

このプローブはプロセス溶液中に直接差し込みプローブの先端で粒子を測定できるよう設計されています。レーザー光はプローブから照射されサファイアウィンドウで収束されたビームになります。光学部位が秒速2mの速さで一定に回転することで収束されたビームはプローブの前を通過した粒子を迅速にスキャンします。

収束されたビームは粒子を横切ります。そして、個々の粒子から反射されたレーザー光が検出されます。これらの反射光は、検出・カウントされ、各反射光の走査時間・速度によって各粒子を横切る距離が計算されます。

この距離はコード長として表され粒子のサイズに基づく本装置の基本的測定原理です。一般的に1秒あたり数千もの粒子を計数・測定することができるため、きわめて高い感度と精度でリアルタイムにコード長分布を算出できます。

このコード長分布によって、プロセスの開始から終了まで粒子のサイズや個数がどれだけ変化したかを追跡できます。各コード長分布から抽出して微小粒子および巨大粒子それぞれのカウント数の経時変化を観察することも可能です。

測定条件を変更した場合ももちろん、プロセス中に存在している粒子や粒子構造の状態をリアルタイムにモニタリングすることが可能であるため、研究者はプロセスを理解し、最適化し、制御することによって最適な粒子プロセス設計を実現することができます。