半導体やディスプレイの生産工程においては、多量の超純水が使用されています。 洗浄工程などで使用される超純水は最終製品の収率に影響することから、その純度を担保するために比抵抗、TOCや溶存酸素といった測定がリアルタイムで実施されています。 本セミナーではそれら超純水管理に欠かせない最新の測定技術を紹介致します。
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