セミナー

どうやって純度を保つ?超純水管理の測定技術

半導体生産工程における水質管理に欠かせない測定技術を学ぶセミナー!比抵抗、TOC、微生物のリアルタイム測定技術を解説。

プログラム概要

  • 半導体FABでの超純水使用のアプリケーション
  • 半導体、ディスプレイ産業用水処理システムへのメトラー・トレドのソリューション

半導体やディスプレイの生産工程においては、多量の超純水が使用されています。
洗浄工程などで使用される超純水は最終製品の収率に影響することから、その純度を担保するために比抵抗、TOCや溶存酸素といった測定がリアルタイムで実施されています。
本セミナーではそれら超純水管理に欠かせない最新の測定技術を紹介致します。

超純水モニタリング

オンラインの水分析は、ウェーハ製造および再生/再利用プロセスにおける水の純度の監視に役立ちます。