تعد الإدارة الفعالة لدورة المياه أمرا بالغ الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات بسبب الاستخدام المكثف للمياه فائقة النقاء (UPW) في العمليات المختلفة. تعد صناعة أشباه الموصلات أكبر مستهلك لشركة UPW على مستوى العالم ، مما يتطلب بروتوكولات صارمة لإدارة هذا المورد وإعادة تدويره بكفاءة.
تراقب أجهزة METTLER TOLEDO Thornton جميع مراحل تنقية المياه في الخط، بينما تعد أدوات المختبر من METTLER TOLEDO مثالية لفحوصات جودة المياه في المختبر والتطبيقات عبر الإنترنت.
تبدأ دورة المياه في تصنيع أشباه الموصلات بالمياه الخام (1) التي يتم إحضارها إلى المنشأة ، حيث تخضع للمعالجة المسبقة (2) ، والمكياج ، والتلميع (3) مراحل. بمجرد صقله ، يتم توزيع UPW على مصنع التصنيع (4 - Fab) ، حيث يتم استخدامه في أدوات وعمليات متعددة ، مثل التنظيف والحفر والمستوى الميكانيكي الكيميائي (CMP). بعد الاستخدام ، غالبا ما يتم استصلاح المياه (5) لإعادة التدوير داخل حلقة UPW ، وتستخدم في تطبيقات أخرى مثل الغلايات وأجهزة التنظيف (11) ، أو معالجتها كنفايات (6) بناء على مستويات تلوثها.
تعتبر المقاومة وإجمالي الكربون العضوي (TOC) ضروريين لمراقبة جودة UPW. على سبيل المثال ، يجب ألا تقل المقاومة عن 18.18 ميجا أوم لكل سنتيمتر عند 25 درجة مئوية ، ويجب أن تظل مستويات TOC أقل من 1 جزء في المليار (جزء في البليون).
الأكسجين المذاب (DO) أمر بالغ الأهمية لمنع التلوث. توفر مستشعرات DO الضوئية من Thornton عمرا طويلا وتتطلب الحد الأدنى من الصيانة ، مما يجعلها مثالية للحفاظ على مستويات منخفضة من الأكسجين المذاب.
يعد الرقم الهيدروجيني والموصلية أمرا أساسيا في عمليات تحييد النفايات ، خاصة عند التعامل مع المواد الكيميائية الضارة مثل حمض الهيدروفلوريك أو الأمونيا. يضمن استخدام مستشعرات الأس الهيدروجيني الصحيحة التخلص الآمن والامتثال للوائح البيئية.
تساعد مراقبة السيليكا والصوديوم في الحفاظ على صحة مداخن الطبقة المختلطة أو الأكيان الكهربائي ، والتي تعتبر محورية لتنقية المياه.
المركبات العضوية مراقبة الملوثات العضوية في المياه فائقة النقاء المستخدمة في مصانع أشباه الموصلات. يمكن لقياس الطيف الضوئي للأشعة فوق البنفسجية / Vis اكتشاف المركبات العضوية النزرة عن طريق قياس طيف الامتصاص ، مما يضمن أن الماء يلبي معايير النقاء العالية.
يقيس تحليل المعادن الثقيلة امتصاص ملوثات معينة ، مما يضمن أن عمليات معالجة مياه الصرف الصحي فعالة ومتوافقة مع اللوائح البيئية.
تركز صناعة أشباه الموصلات بشكل متزايد على تقليل بصمتها المائية. تفرض التشريعات في مختلف المناطق مستويات عالية من إعادة استخدام المياه واستصلاحها ، غالبا ما تصل إلى 90٪. يعد الفصل الفعال ومعالجة مجاري النفايات ، مثل تحييد حمض الهيدروفلوريك وتحويل الأمونيا للتصريف الآمن ، خطوات حاسمة في هذه العملية.
لا تتعلق الإدارة الفعالة لدورة المياه في تصنيع أشباه الموصلات بضمان أعلى جودة ل UPW فحسب ، بل تتعلق أيضا بالحفاظ على المسؤولية البيئية. من خلال استخدام تقنية الاستشعار المتقدمة والالتزام ببروتوكولات المراقبة والصيانة الصارمة ، يمكن لمرافق أشباه الموصلات تحسين استخدامها للمياه ، وضمان الامتثال للمعايير التنظيمية ، والمساهمة في الاستدامة البيئية.
توفر شركة METTLER TOLEDO Thornton مجموعة شاملة من أجهزة الاستشعار والتحليلات، بما في ذلك الأس الهيدروجيني، والتوصيلية الموصلية، والمقاومة، وجدول المحتويات والأكسجين المذاب، والكشف عن الميكروبات، ومستشعرات السيليكا. هذه الأدوات جزء لا يتجزأ من الحفاظ على أعلى جودة UPW. توفر تقنية ISM (الإدارة الذكية للمستشعرات) تشخيصات تنبؤية ومعايرة تكيفية وتنبيهات صيانة ، مما يعزز الكفاءة التشغيلية ويقلل من وقت التوقف عن العمل.
تساعد تحليلات المياه غير المتصلة بالإنترنت التي يتم إجراؤها في الموعد المحدد في التحقق من دقة نظام المراقبة عبر الإنترنت ، مع تطبيقات للأدوات التي توضع على الطاولة مثل الكثافةومعامل الانكسارودرجة الحموضة والتوصيلية الكهربية والأيونات والأكسجين المذاب (DO)والمعايرة بالتحليل الحجميوقياسات الأشعة فوق البنفسجية / المرئيات.
نحن نتفهم أن الدقة والموثوقية ضروريتان في عملك ، وقد تم تصميم حلولنا لدعمك في كل خطوة على الطريق. فريقنا مكرس للحفاظ على تشغيل معداتك بسلاسة حتى تتمكن من التركيز على ما هو أكثر أهمية - تحقيق نتائج رائدة. دعنا نعمل معا لتعزيز جهودك ودفع الابتكار في مجال أشباه الموصلات.
