 |
Catatan aplikasi ini membahas tentang pentingnya analisis TOC yang andal secara waktu nyata dalam UPW semikonduktor. Air ultramurni merupakan pelarut yang paling keras dan agresif yang digunakan oleh industri mikroelektronika dalam proses pembersihan dan produksi wafer. Selama empat dekade terakhir, industri elektronik telah meningkatkan jumlah sirkuit yang diukir pada chip silikon secara eksponensial. Peningkatan jumlah sirkuit telah menurunkan lebar saluran secara signifikan, sehingga meningkatkan persyaratan terhadap adanya pengukuran TOC yang akurat dan berkelanjutan di UPW.
Proses produksi semikonduktor memiliki beberapa spesifikasi yang paling ketat atas kontaminasi ionik dan organik dalam sistem air murni dan ultramurni. Mengukur TOC air semikonduktor telah memungkinkan pihak produsen untuk meningkatkan mutu produk dan memaksimalkan hasilnya. Kemajuan dalam teknologi pemurnian air dan inovasi dalam instrumentasi untuk memantau kontaminan ini telah berperan penting dalam meningkatkan dan mengukur mutu air ultramurni. Kemajuan ini, pada akhirnya, telah mendorong spesifikasi yang lebih rendah untuk semua tingkat kontaminan dalam sistem UPW.
Analisis total organik karbon / TOC dalam UPW semikonduktor merupakan metode yang ampuh untuk memantau kontaminan organik dalam air ultramurni dan ‘kesehatan’ sistem UPW yang digunakan dalam industri mikroelektronika. Bahan organik menjadi sumber makanan setiap bakteri yang mungkin terdapat dalam sistem distribusi, tangki penyimpanan, dan teknologi proses, atau modul perawatan. Pengukuran level organik yang akurat, cepat, dan nyaman dalam sistem UPW bisa menghemat jutaan dolar dengan mencegah terjadinya kehilangan produk.
Sensor 6000TOCi dan pemancar M800 menghadirkan kinerja yang diperlukan untuk memenuhi persyaratan ini, sambil menghadirkan manfaat tambahan dari pengukuran online secara berkelanjutan dalam suatu paket industri dengan tingkat pemeliharaan yang rendah, menggunakan teknologi multiparameter yang telah terbukti ampuh. Sensor 6000TOCi berinteraksi secara langsung dengan pemancar M800, yang menyediakan kemampuan parameter pengukuran tambahan. Sensor 6000TOCi dengan pemancar M800 dilengkapi dengan sistem Intelligent Sensor Management (ISM) dari METTLER TOLEDO. Diagnostik tingkat lanjut ISM membantu memastikan bahwa sensor Anda bekerja secara optimal setiap saat.
Baca informasi lebih lanjut tentang sensor 6000TOCi dan pemancar M800 serta bagaimana produk ini bisa digunakan untuk analisis TOC di UPW, dengan membaca catatan aplikasi dan mengunjungi tautan di bawah ini:
- Sensor 6000TOCi – Sensor total organik karbon berkinerja tinggi yang bisa memantau TOC air semikonduktor dengan pengukuran dan analisis yang stabil dan akurat secara waktu nyata. Sensor air yang efisien dengan kinerja sistem yang bisa diverifikasi.
- Pemancar M800 – Pemancar multiparameter yang bisa menerima tiga sensor analitik lainnya selain TOC, termasuk konduktivitas, pH, ORP, atau oksigen terlarut[SST1], ditambah dengan tekanan, level tangki, atau dua sensor aliran.
- Intelligent Sensor Management (ISM) – Teknologi sensor digital yang memastikan tindakan pemeliharaan yang bisa diprediksi, penanganan sensor yang sederhana, serta produksi yang efisien.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Pemancar")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Probe pH / Probe ORP (Redoks) In-Line")
