案例研究

用数字传感器测量电阻率

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北美半导体制造工厂案例研究

测量电阻率
测量电阻率

电阻率测量值(电导率的倒数),是微电子工业中用以保持超纯水质的较关键的监测参数。 对于半导体制造商来说,高度稳定的电阻率测量是生产高质量产品所必需的。

为了改善其过程和较终产品,北美一家大型的半导体制造工厂正在寻找一种电阻率测量系统来满足他们的高期望。 与梅特勒托利多合作,制造商对用于其超纯水系统中电阻率测量的UPW UniCond®系统进行了数周的测试。 分析了其水回路中的测试结果后,制造工厂观察到电阻率测量性能与之前的产品解决方案相比有显著提高。 他们决定更新其战略并指定UPW UniCond传感器用于新工厂和设施的升级。 获得的电阻率测量结果超出了所有预期,其稳定性和准确性超出了市场上任何其他电阻率传感器。

本案例研究涵盖了以下内容:

  • 客户情况的背景
  • 评估用于电阻率测量的测试设置
  • 评估结果
     

梅特勒托利多的UPW UniCond传感器提供高度可重复的测量准确度。 增强的数字信号处理降低了噪声,并在测量稳定性方面提升了一个数量级。 UPW UniCond传感器配备了智能传感器管理 (ISM) 功能。 由于內置微处理器将来自传感器的模拟信号转换为实际的电导率测量值,ISM电导率传感器可提供优于模拟探头的性能。

UPW UniCond传感器的集成式电极常数、温度传感器和测量回路均作为一个单元校准,因此可提供较高的测量准确度。 因为测量回路是独立、密封的,所以电缆长度的变化、连接或者变送器的更改不会产生任何负面影响。 传感器输出非常稳定的数字信号,不会因周围设备及环境的干扰或退化而受影响。