Efektivní řízení vodního cyklu je při výrobě polovodičů zásadní kvůli rozsáhlému používání ultračisté vody (UPW) v různých procesech. Polovodičový průmysl je největším spotřebitelem ultrafialové vody na světě, což vyžaduje přísné protokoly pro efektivní správu a recyklaci tohoto zdroje.
Přístroje METTLER TOLEDO Thornton monitorují všechny fáze čištění vody in-line, zatímco laboratorní přístroje METTLER TOLEDO jsou ideální pro přesné kontroly kvality vody v laboratoři i v on-line aplikacích.
Vodní cyklus při výrobě polovodičů začíná přivedením surové vody (1) do zařízení, kde prochází fází předúpravy (2), doplňování a leštění (3). Po vyleštění je ultračistá voda distribuována do výrobního závodu (4 - Fab), kde se používá v mnoha nástrojích a procesech, jako je čištění, leptání a chemicko-mechanická planarizace (CMP). Po použití je voda často regenerována (5) pro recyklaci v rámci smyčky ultrafialové vody, používána v jiných aplikacích, jako jsou kotle a pračky (11), nebo je s ní zacházeno jako s odpadem (6) na základě úrovně kontaminace.
Odpor a celkový organický uhlík (TOC) jsou nezbytné pro sledování kvality ultračisté vody. Například odpor by neměl být menší než 18.18 megaohmů na centimetr při 25 °C a úrovně TOC by měly být udržovány pod 1 částicí na miliardu (ppb).
Rozpuštěný kyslík (DO) je rozhodující pro prevenci kontaminace. Optické senzory rozpuštěného kyslíku od společnosti Thornton nabízejí dlouhou životnost a vyžadují minimální údržbu, takže jsou ideální pro udržování nízkých hladin rozpuštěného kyslíku.
pH a vodivost jsou klíčové v procesech neutralizace odpadu, zejména při práci se škodlivými chemikáliemi, jako je kyselina fluorovodíková nebo amoniak. Použití správných pH senzorů zajišťuje bezpečnou likvidaci a soulad s předpisy na ochranu životního prostředí.
Monitorování oxidu křemičitého a sodíku pomáhá udržovat zdraví smíšených ložů nebo elektrodeionizačních komínů, které jsou klíčové pro čištění vody.
UV/Vis spektrofotometrie dokáže detekovat stopové organické sloučeniny měřením absorpčního spektra, čímž je zajištěno, že voda splňuje vysoké standardy čistoty.
Analýza těžkých kovů měří absorpci specifických kontaminantů a zajišťuje, že procesy čištění odpadních vod jsou účinné a v souladu s předpisy na ochranu životního prostředí.
Polovodičový průmysl se stále více zaměřuje na snižování své vodní stopy. Legislativa v různých regionech nařizuje vysokou úroveň opětovného využívání a rekultivace vody, často až 90 %. Účinná segregace a zpracování odpadních toků, jako je neutralizace kyseliny fluorovodíkové a přeměna amoniaku pro bezpečné vypouštění, jsou kritickými kroky v tomto procesu.
Efektivní řízení vodního cyklu při výrobě polovodičů nespočívá pouze v zajištění nejvyšší kvality ultrafialové vody, ale také v zachování odpovědnosti k životnímu prostředí. Využitím pokročilé senzorové technologie a dodržováním přísných protokolů monitorování a údržby mohou polovodičová zařízení optimalizovat svou spotřebu vody, zajistit soulad s regulačními normami a přispět k udržitelnosti životního prostředí.
METTLER TOLEDO Thornton nabízí komplexní portfolio senzorů a analyzátorů, včetně senzorů pH, konduktivity, odporu, TOC, rozpuštěného kyslíku, mikrobiální detekce a senzorů oxidu křemičitého. Tyto přístroje jsou nedílnou součástí udržování nejvyšší kvality UPW. Technologie ISM (Intelligent Sensor Management) nabízí prediktivní diagnostiku, adaptivní kalibraci a upozornění na údržbu, čímž zvyšuje provozní efektivitu a zkracuje prostoje.
Offline analýzy vody prováděné včas pomáhají ověřit přesnost online monitorovacího systému s aplikacemi pro stolní přístroje, jako je hustota, index lomu, pH, konduktivita, ionty a rozpuštěný kyslík (DO),titrace a UV/Vis.
Chápeme, že přesnost a spolehlivost jsou pro vaši práci zásadní, a naše řešení jsou navržena tak, aby vás podporovala na každém kroku. Náš tým se zaměřuje na zajištění hladkého chodu vašeho zařízení, abyste se mohli soustředit na to, na čem záleží nejvíce – na dosažení průlomových výsledků. Pojďme společně zvýšit vaše úsilí a podpořit inovace v oblasti polovodičů.
