Cảm biến đặt ra tiêu chuẩn mới về độ chính xác đo điện trở suất

Một nhà chế tạo chất bán dẫn lớn cần một cảm biến điện trở suất có hiệu suất vượt trội so với các thiết bị hiện có. METTLER TOLEDO Thornton đã làm việc với nhà chế tạo trên một cảm biến đặt ra tiêu chuẩn mới trong phép đo điện trở suất.

Sự tuân thủ đòi hỏi của nhà chế tạo đối với năng suất sản xuất được cải thiện đòi hỏi một mức điện trở suất, đo lường ổn định và độ chính xác vượt xa các tiêu chuẩn công nghiệp hiện tại. Một quan hệ đối tác với METTLER TOLEDO đã được thiết lập để tìm ra giải pháp.

Kết quả là UPW UniCond (TM), một cảm biến điện trở suất với khả năng bù nhiệt độ, ổn định tín hiệu và cách ly môi trường tốt hơn đáng kể so với trước đây.

Dựa trên kết quả thử nghiệm rất thành công, nhà chế tạo đã chấp nhận UPW UniCond làm giải pháp đo điện trở suất mới của họ và đã chỉ định rằng tất cả các nhà máy toàn cầu của họ đều sử dụng cảm biến mới khi nâng cấp hoặc thiết kế các nhà máy mới.

Nghiên cứu điển hình này xem xét thử nghiệm được thực hiện bởi nhà chế tạo và kết quả.

Gọi để được báo giá

Khi độ rộng đường truyền bán dẫn tiếp tục thu hẹp, nhu cầu cải thiện chất lượng UPW sẽ chỉ tăng lên để duy trì năng suất wafer cao.

Hầu hết các cảm biến điện trở suất cung cấp độ chính xác đo +/- 1%. Hiện tại, mức hành động được đặt bởi SEMI F63 nằm trong phạm vi lỗi này. Mức độ không chắc chắn này có thể chấp nhận được đối với một số quy trình, nhưng nó không giúp các nhà máy bán đáp ứng nhu cầu của họ để sản xuất các công nghệ thế hệ tiếp theo. UPW UniCond là cảm biến điện trở suất duy nhất có sẵn có khả năng đạt được độ chính xác ≥0,5% khi đo điện trở suất bù nhiệt độ.

Tìm hiểu thêm