 |
Một trong những nhà sản xuất chất bán dẫn lớn nhất châu Á đã gặp vấn đề với phép đo lượng oxy hòa tan của mình. Họ sử dụng một hệ thống tốn kém cần phải mất từ ba đến bốn ngày sau khi bảo trì thì các chỉ số DO mới đủ ổn định để sử dụng.
Họ đã đánh giá cảm biến DO quang học và bộ truyền phát M800 của METTLER TOLEDO Thornton làm giải pháp cho phép đo lượng oxy hòa tan trong hệ thống nước siêu tinh khiết của mình.
Phép đo lượng oxy hòa tan là yếu tố có độ ưu tiên cao tại cơ sở đúc này. Họ đưa ra nhiều kỳ vọng cao, trong đó có tốc độ phản hồi cực nhanh, mức độ phát hiện thấp và giảm bảo trì. METTLER TOLEDO đã không chỉ đáp ứng mà còn vượt quá kỳ vọng của họ với giải pháp đưa ra bao gồm cảm biến DO quang học và bộ truyền phát M800. Cảm biến DO với công nghệ quang học không cần phân cực nên khả năng sử dụng của hệ thống đo rất cao. Bộ truyền phát M800 đem đến nhiều khả năng đa kênh, đa thông số giúp ghép cặp phép đo DO với phép đo các tham số khác.
Tải xuống trường hợp nghiên cứu để đọc toàn bộ chi tiết bao gồm các chủ đề sau:
- Vì sao lại cần đo lượng oxy hòa tan trong lò đúc chất bán dẫn?
- Ưu thế về độ chính xác và phản hồi
- Tiết kiệm lâu dài với phép đo quang học
Lượng khí oxy hòa tan được đo sau khi khử khí nước siêu tinh khiết (UPW) để xác nhận việc loại bỏ oxy ra khỏi nước. Việc giảm lượng oxy hòa tan sẽ duy trì độ dẫn thấp cho nước, vốn là yếu tố tối quan trọng đối với các bước xử lý tiếp theo, đặc biệt là điện phân trao đổi ion liên tục. Nồng độ oxy hòa tan trong nước vào thời điểm sử dụng (POU) trong quá trình xử lý nước được duy trì ở mức dưới 5 ppb để ngăn ngừa tình huống mất kiểm soát độ dày của oxit cổng. Mức oxy hòa tan cao hơn vào POU có thể dẫn đến tình trạng ăn mòn bất ngờ do nước bị oxy hóa, dẫn đến hỏng hóc và giảm năng suất cũng như thiệt hại lớn về mặt tài chính.
