Efektívne riadenie vodného cyklu je pri výrobe polovodičov rozhodujúce kvôli rozsiahlemu používaniu ultračistej vody (UPW) v rôznych procesoch. Polovodičový priemysel je najväčším spotrebiteľom UPW na svete, čo si vyžaduje prísne protokoly na efektívne riadenie a recykláciu tohto zdroja.
Prístrojové vybavenie METTLER TOLEDO Thornton monitoruje všetky fázy čistenia vody v linke, zatiaľ čo laboratórne prístroje METTLER TOLEDO sú ideálne na presné kontroly kvality vody v laboratóriu a na linkách.
Vodný cyklus pri výrobe polovodičov začína privádzaním surovej vody (1) do zariadenia, kde prechádza fázami predbežnej úpravy (2), líčenia a leštenia (3). Po vyleštení sa UPW distribuuje do výrobného závodu (4 - Fab), kde sa používa vo viacerých nástrojoch a procesoch, ako je čistenie, leptanie a chemicko-mechanická planarizácia (CMP). Po použití sa voda často regeneruje (5) na recykláciu v rámci cyklu UPW, používa sa v iných aplikáciách, ako sú kotly a práčky (11), alebo sa s ňou zaobchádza ako s odpadom (6) na základe úrovne kontaminácie.
Odpor a celkový organický uhlík (TOC) sú nevyhnutné na monitorovanie kvality UPW. Napríklad odpor by nemal byť menší ako 18.18 mega ohmov na centimeter pri 25 °C a hladiny TOC by sa mali udržiavať pod 1 dielom na miliardu (ppb).
Rozpustený kyslík (DO) je rozhodujúci pre prevenciu kontaminácie. Optické senzory rozpusteného kyslíka od spoločnosti Thornton ponúkajú dlhú životnosť a vyžadujú minimálnu údržbu, vďaka čomu sú ideálne na udržanie nízkej hladiny rozpusteného kyslíka.
pH a vodivosť sú kľúčové v procesoch neutralizácie odpadu, najmä pri práci so škodlivými chemikáliami, ako je kyselina fluorovodíková alebo amoniak. Používanie správnych senzorov pH zaisťuje bezpečnú likvidáciu a súlad s environmentálnymi predpismi.
Monitorovanie oxidu kremičitého a sodíka pomáha udržiavať zdravie zmiešaných alebo elektrodeionizačných komínov, ktoré sú kľúčové pre čistenie vody.
Organické zlúčeniny Monitorovanie organických kontaminantov v ultračistej vode používanej v továrňach na výrobu polovodičov. UV/Vis spektrofotometria dokáže detekovať stopové organické zlúčeniny meraním spektra absorbancie, čím sa zabezpečí, že voda spĺňa vysoké štandardy čistoty.
Analýza ťažkých kovov meria absorbanciu špecifických kontaminantov, čím sa zabezpečuje, že procesy čistenia odpadových vôd sú účinné a v súlade s environmentálnymi predpismi.
Polovodičový priemysel sa čoraz viac zameriava na znižovanie svojej vodnej stopy. Legislatíva v rôznych regiónoch nariaďuje vysokú úroveň opätovného využívania a rekultivácie vody, často až 90 %. Účinná segregácia a spracovanie tokov odpadu, ako je neutralizácia kyseliny fluorovodíkovej a premena amoniaku na bezpečné vypúšťanie, sú kritickými krokmi v tomto procese.
Efektívne riadenie vodného cyklu pri výrobe polovodičov nie je len o zabezpečení najvyššej kvality UPW, ale aj o zachovaní environmentálnej zodpovednosti. Využitím pokročilej technológie senzorov a dodržiavaním prísnych protokolov monitorovania a údržby môžu polovodičové zariadenia optimalizovať spotrebu vody, zabezpečiť súlad s regulačnými normami a prispieť k udržateľnosti životného prostredia.
Spoločnosť METTLER TOLEDO Thornton ponúka komplexné portfólio elektród a analyzátorov vrátane senzorov pH, vodivosti, odporu, TOC, detekcie rozpusteného kyslíka, mikrobiálnej detekcie a oxidu kremičitého. Tieto prístroje sú neoddeliteľnou súčasťou udržiavania najvyššej kvality UPW. Technológia ISM (Intelligent Sensor Management) ponúka prediktívnu diagnostiku, adaptívnu kalibráciu a upozornenia na údržbu, čím zvyšuje prevádzkovú efektivitu a znižuje prestoje.
Offline analýzy vody vykonávané včas pomáhajú overiť presnosť online monitorovacieho systému s aplikáciami pre stolové prístroje, ako je hustota, index lomu, pH, vodivosť, ióny a rozpustený kyslík (DO),titrácia a meranie UV/VIS.
Chápeme, že presnosť a spoľahlivosť sú pri vašej práci nevyhnutné, a naše riešenia sú navrhnuté tak, aby vás podporovali na každom kroku. Náš tím je odhodlaný udržiavať hladký chod vášho zariadenia, aby ste sa mohli sústrediť na to, čo je najdôležitejšie – dosahovanie prelomových výsledkov. Poďme spolupracovať na zvýšení vášho úsilia a podpore inovácií v oblasti polovodičov.
