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Esta nota de aplicación explora la importancia de un análisis del TOC fiable y en tiempo real en el UPW para semiconductores. El agua ultrapura es el disolvente más voraz y agresivo empleado por la industria microelectrónica en la limpieza y en la producción de obleas. Durante las pasadas cuatro décadas, la industria electrónica ha incrementado exponencialmente el número de circuitos que están grabados en chips de silicio. El incremento en el número de circuitos ha disminuido significativamente los anchos de línea, por lo que han aumentado por magnitudes los requisitos para una medición exacta y continua del TOC en el UPW.
Los procesos de fabricación de semiconductores tienen algunas de las especificaciones más estrictas para la contaminación iónica y orgánica en los sistemas de agua pura y ultrapura. La medición del TOC del agua para semiconductores ha permitido que los fabricantes mejoren la calidad del producto y maximicen el rendimiento. Los avances en la tecnología de purificación del agua y las innovaciones en los instrumentos para visualizar estos contaminantes han desempeñado un papel significativo a la hora de mejorar y medir la calidad del agua ultrapura. A su vez, estos avances han provocado que las especificaciones bajen para todos los niveles de contaminantes en los sistemas de UPW.
El análisis del carbono orgánico total (TOC) en el UPW para semiconductores es un potente método para visualizar los contaminantes orgánicos en el agua ultrapura y el “estado” de los sistemas de UPW usados en la industria microelectrónica. La materia orgánica supone una fuente de alimentos para las bacterias que puedan existir en el sistema de distribución, los depósitos de almacenamiento, así como los módulos de tratamiento o tecnología de procesamiento. Una medición exacta, rápida y práctica del nivel de materia orgánica en un sistema de UPW puede ahorrar millones de euros al evitar que se eche a perder producto.
El sensor 6000TOCi y el transmisor M800 ofrecen el rendimiento necesario para cumplir estos requisitos, al tiempo que ofrecen los beneficios añadidos de una medición en línea continua en un paquete industrial de bajo mantenimiento con tecnología multiparamétrica probada. El sensor 6000TOCi se comunica directamente con el transmisor M800, que ofrece funciones de parámetros de medición adicionales. El sensor 6000TOCi con transmisor M800 está equipado con el sistema Intelligent Sensor Management (ISM) de METTLER TOLEDO. Los diagnósticos avanzados ISM ayudan a asegurar un rendimiento óptimo de su sensor en todo momento.
Obtenga más información sobre el sensor 6000TOCi con transmisor M800, y cómo puede usarse para el análisis del TOC en el UPW leyendo la nota de aplicación y visitando las siguientes páginas:
- Sensor 6000TOCi: sensor de carbono orgánico total de alto rendimiento que puede visualizar el TOC del agua para semiconductores con una medición en tiempo real y un análisis estable y exacto. Sensor eficaz de agua con rendimiento del sistema verificable.
- Transmisor M800: transmisor multiparamétrico que puede aceptar tres otros sensores analíticos además del TOC, lo que incluye conductividad, pH, ORP/Redox u oxígeno disuelto[[SST1] , además de presión, nivel del depósito o dos sensores de flujo.
- Intelligent Sensor Management (ISM): tecnología de sensores digitales que asegura un mantenimiento predecible, una manipulación sencilla de los sensores y una producción eficaz.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmisores")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Sensor de pH en línea / sensor de ORP (Redox)")
