La gestión eficaz del ciclo del agua es crucial en la fabricación de semiconductores debido al uso extensivo de agua ultrapura (UPW) en diversos procesos. La industria de los semiconductores es el mayor consumidor de UPW a nivel mundial, lo que requiere protocolos rigurosos para gestionar y reciclar este recurso de forma eficiente.
La instrumentación de METTLER TOLEDO Thornton supervisa todas las etapas de la purificación del agua en línea, mientras que los instrumentos de laboratorio de METTLER TOLEDO son ideales para realizar controles puntuales de la calidad del agua en el laboratorio y en aplicaciones en línea.
El ciclo del agua en la fabricación de semiconductores comienza con el transporte de agua cruda (1) a la instalación, donde se somete a las etapas de pretratamiento (2), maquillaje y pulido (3). Una vez pulido, el UPW se distribuye a la planta de fabricación (4 - Fab), donde se utiliza en múltiples herramientas y procesos, como limpieza, grabado y planarización mecánica química (CMP). Después del uso, el agua a menudo se recupera (5) para reciclar dentro del circuito UPW, se utiliza en otras aplicaciones como calderas y depuradores (11) o se trata como residuo (6) en función de sus niveles de contaminación.
La resistividad y el carbono orgánico total (TOC) son esenciales para monitorizar la calidad del UPW. Por ejemplo, la resistividad no debe ser inferior a 18,18 mega ohmios por centímetro a 25 ° C, y los niveles de TOC deben mantenerse por debajo de 1 parte por billón (ppb).
El oxígeno disuelto (OD) es fundamental para prevenir la contaminación. Los sensores ópticos de oxígeno disuelto de Thornton ofrecen una larga vida útil y requieren un mantenimiento mínimo, lo que los hace ideales para mantener bajos niveles de oxígeno disuelto.
El pH y la conductividad son clave en los procesos de neutralización de residuos, especialmente cuando se trata de productos químicos nocivos como el ácido fluorhídrico o el amoníaco. El uso de los sensores de pH adecuados garantiza una eliminación segura y el cumplimiento de las normativas medioambientales.
La monitorización de sílice y sodio ayuda a mantener la salud de las pilas de lecho mixto o de electrodesionización, que son fundamentales para la purificación del agua.
Monitorización de contaminantes orgánicos en agua ultrapura utilizada en fábricas de semiconductores. La espectrofotometría UV/Vis puede detectar trazas de compuestos orgánicos midiendo el espectro de absorbancia, lo que garantiza que el agua cumpla con altos estándares de pureza.
El análisis de metales pesados mide la absorbancia de contaminantes específicos, lo que garantiza que los procesos de tratamiento de aguas residuales sean efectivos y cumplan con las regulaciones ambientales.
La industria de los semiconductores se centra cada vez más en reducir su huella hídrica. La legislación de varias regiones exige altos niveles de reutilización y recuperación de agua, a menudo de hasta el 90%. La segregación y el tratamiento eficaces de los flujos de residuos, como la neutralización del ácido fluorhídrico y la conversión del amoníaco para una descarga segura, son pasos críticos en este proceso.
La gestión eficaz del ciclo del agua en la fabricación de semiconductores no solo consiste en garantizar la máxima calidad de los UPW, sino también en mantener la responsabilidad medioambiental. Mediante el empleo de tecnología de sensores avanzada y el cumplimiento de rigurosos protocolos de monitorización y mantenimiento, las instalaciones de semiconductores pueden optimizar su uso del agua, garantizar el cumplimiento de los estándares regulatorios y contribuir a la sostenibilidad ambiental.
METTLER TOLEDO Thornton ofrece una amplia gama de sensores y analizadores, entre los que se incluyen sensores de pH, conductividad, resistividad, TOC, oxígeno disuelto, detección microbiana y sílice. La tecnología ISM (Intelligent Sensor Management) ofrece diagnósticos predictivos, calibración adaptativa y alertas de mantenimiento, lo que mejora la eficiencia operativa y reduce el tiempo de inactividad.
Los análisis de agua fuera de línea realizados puntualmente ayudan a verificar la precisión del sistema de monitorización en línea, con aplicaciones para instrumentos de sobremesa como densidad, índice de refracción, pH, conductividad, iones y oxígeno disuelto (OD),valoración y mediciones UV/Vis.
Entendemos que la precisión y la confiabilidad son esenciales en su trabajo, y nuestras soluciones están diseñadas para ayudarlo en cada paso del camino. Nuestro equipo se dedica a mantener su equipo funcionando sin problemas para que pueda concentrarse en lo que más importa: lograr resultados innovadores. Trabajemos juntos para mejorar sus esfuerzos e impulsar la innovación en el campo de los semiconductores.
