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반도체 산업이 급속히 발전함에 따라 웨이퍼당 더 많은 칩과 한 자릿수 나노 미터 범위의 더 좁은 선폭에 대한 요구가 증가하고 있습니다. 이러한 과제를 해결하기 위해 초순수(UPW) 모니터링 및 제어를 구현하여 웨이퍼 수율에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 이온 불순물을 검출해야 합니다. 용수 순도를 보장하기 위해 온라인 및 실시간으로 모니터링해야 하는 두 가지 중요한 파라미터는 총 유기탄소(TOC)와 비저항입니다. 초순수(UPW) 시스템에서 이러한 파라미터를 ppb 수준에서 정확하게 측정할 수 있어 반도체 제조업체에서 제품 품질을 개선하고 수율을 극대화할 수 있습니다.
초순수(UPW)6000TOCi 및 M800은 UPW 시스템에 필요한 온라인 연속 측정 및 공정 제어를 가능하게 하는 최신 도구를 마이크로 전자 공학 산업에 제공합니다. 메틀러 토레도의 TOC 시스템은 가장 빠른 응답, 고급 통합 진단 및 하위 ppb 탐지를 통해 측정 포인트당 최저 비용을 보장합니다.
UniCond 센서, 6000TOCi 및 M800 트랜스미터는 마이크로 전자 공학 산업의 위험을 줄이고 수율을 개선하기 위한 최고의 투자입니다.
본 백서는 다음과 같은 주제를 다루고 있습니다.
- 온라인 비저항 및 TOC 분석의 중요성
- 반도체 제조에서의 초순수
- 지속적인 실시간 비저항 및 TOC 모니터링
마이크로 전자 공학 산업을 위한 메틀러 토레도의 이상적인 제품 솔루션은 6000TOCi 센서, UniCond 센서 및 M800 트랜스미터입니다.
6000TOCi는 실시간으로 데이터를 제공하고 예측 진단 기능을 제공하는 온라인 TOC 센서입니다. 센서에서 매 초마다 측정하여 용수 시스템의 연속식 TOC 분석을 실시할 수 있습니다. 6000TOCi는 TOC 수준 변화의 신속한 탐지가 중요한 모든 순수 어플리케이션에 이상적이며, 센서에서 이력 및 핵심 통계의 종합적으로 기록하는 기능을 제공합니다.
메틀러 토레도의 UniCond 센서는 반복성이 매우 높은 측정 정확도를 제공합니다. UniCond 센서에는 지능형 센서 관리(ISM)가 장착되어 있습니다. ISM 센서가 아날로그 프로브에 비해 향상된 성능을 제공하는 데에는 센서에서 나온 아날로그 신호를 파라미터의 실제 측정 값으로 전환하는 내장 마이크로 프로세서를 포함하여 여러 가지 이유가 있습니다.
메틀러 토레도의 M800 트랜스미터가 측정 시스템을 완성합니다. 설치 유연성과 공정 제어 측정의 간소화를 제공하는 멀티파라미터 트랜스미터입니다. 인라인 센서 1개, 2개 또는 4 개를 동시에 모니터링할 수 있습니다.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "전도도 센서 / 비저항 센서")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "트랜스미터")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "인라인 pH 프로브 / ORP(산화 환원) 프로브")