반도체 UPW의 TOC 분석 Application Note

이 Application Note는 반도체 UPW에서 신뢰할 수 있는 실시간 TOC 분석의 중요성을 자세히 설명합니다.초순수는 마이크로전자 산업의 웨이퍼 세척 및 생산에 사용되는 가장 강력하고 공격적인 용매입니다. 지난 40년 동안 전자 산업은 실리콘 칩에 에칭된 회로 수를 기하급수적으로 증가시켰습니다. 회로 수의 증가로 선의 폭이 크게 줄었으며 이로 인해 UPW 내 정확하고 지속적인 TOC 측정의 필요성이 몇 배나 증가하였습니다.

반도체 생산 공정은 순수 및 초순수 시스템의 이온 및 유기오염에 대한 가장 엄격한 사양을 적용하고 있습니다. 제조업체는 반도체 용수의 TOC를 측정하여 제품 품질을 향상시키고 수율을 최대화할 수 있었습니다. 용수 정화 기술의 진보와 이러한 이물질의 모니터링에 사용되는 계측기의 혁신은 초순수의 품질 개선 및 측정 시 중요한 역할을 수행해 왔습니다. 이러한 발전에 따라 UPW 시스템에서 모든 오염 수준 대한 사양이 더 낮아졌습니다.

반도체 UPW 내 총 유기탄소/TOC 분석은 초순수 내 유기 이물질, 그리고 마이크로전자 산업에서 사용되는 UPW 시스템의 '건전성'을 모니터링하는 강력한 기법입니다. 유기물은 분배 시스템, 저장 탱크, 그리고 공정 기술 또는 처리 모듈 내에 존재할 수 있는 박테리아를 위한 식량 자원을 제공합니다. UPW 시스템 상의 정확하고 빠르고 편리하게 유기물 수준 측정을 통해 제품 손실을 방지하고 수천만원 상당의 비용을 절약할 수 있습니다.

6000TOCi 센서 및 M800 트랜스미터는 이러한 요구사항을 충족하기 위해 필요한 성능을 제공하며 적은 유지관리 비용, 입증된 멀티 파라미터 기술을 사용한 산업 패키지 내에서 지속적인 온라인 측정의 추가적인 장점들을 제공합니다. 6000TOCi 센서는 추가 측정 파라미터 기능을 제공하는 M800 트랜스미터와 직접 접속합니다. 6000TOCi 센서 및 M800 트랜스미터에는 메틀러 토레도의 지능형 센서 관리(ISM) 시스템이 장착되어 있습니다. ISM은 언제나 최적의 상태로 센서가 작동하도록 지원합니다.

Application Note를 확인하신 후 아래를 방문하여 6000TOCi 센서 및 M800 트랜스미터 그리고 UPW의 TOC 분석을 위한 사용 방법에 대해 자세히 알아보십시오:

6000TOCi 센서 – 실시간 측정 및 안정적이고 정확한 분석이 가능한 반도체의 TOC를 모니터링할 수 있는 고성능 총 유기탄소 센서. 검증 가능한 시스템 성능을 갖추고, 용수 사용 효율성이 높은 센서
M800 트랜스미터 – 전도도, pH, ORP, 또는 용존 산소[SST1] , 압력, 탱크 수치 또는 두 개의 유량 센서 포함하는 TOC와 함께 세 가지의 다른 분석 센서를 사용할 수 있는 멀티 파라미터 트랜스미터.
지능형 센서 관리(ISM) – 예측 가능한 유지 보수, 간단한 센서 취급 및 효율적인 생산을 보장하는 디지털 센서 기술.