超純水の比抵抗測定で精度を実現（日本語版）

半導体チップのウェハーサイズの大面積化、回路線幅の微細化が進むにつれ、超純水の品質に対する要求は高まり続けます。水の純度の測定は、極めて高純度の水で確実に動作する比抵抗センサで実現できますが、これには課題が存在します。

無料のホワイトペーパーでは、比抵抗測定精度をどのように向上できるのかが解説されています。